多晶硅硅芯发黑，大家觉得有那些因素引起的？

发表于 2011-12-7 15:30:31

硅氧化会引起硅芯剥落，并且硅芯表面有明显的蓝色光泽

发表于 2011-12-8 12:43:40

很多原因是置换不干净造成的

发表于 2011-12-12 10:39:16

置换时有死角，尾气阀门内漏，起炉有三氯氢硅液体进入炉内。

发表于 2016-5-31 10:58:00

最好上个图片看下。是不是硅芯表面结了一层黑色的壳？

发表于 2012-2-5 00:13:54

置换不彻底最好用抽真空的方法

发表于 2012-2-6 15:16:45

你们这个问题解决了吗

发表于 2016-5-31 10:59:00

你们呢的硅芯发黑出现在哪个位置？

发表于 2012-2-6 17:24:49

287789398 发表于 2011-12-6 17:12
炉子启成时温度低，表面长的无定型硅
那如何确定黑色物质就是无定形硅？

发表于 2016-5-31 10:55:41

dxp119 发表于 2011-12-12 10:39
很多原因是置换不干净造成的
置换什么？空气吗？现在好多路子是H2启炉

发表于 2016-5-31 10:56:18

cjzhx123 发表于 2012-2-6 15:16
最好上个图片看下。是不是硅芯表面结了一层黑色的壳？
应该是一层很薄的黑黄色物质，能被HF腐蚀掉

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