多晶硅生产工艺（个人总结）

发表于 2008-7-17 15:32:55

现在关注[wiki]多晶硅[/wiki]的人越来越多了，我就发份资料，以便大家系统的了解一下多晶硅的生产工艺吧，算是个科普。
这个是我在国内外文献和新闻的基础上，自己总结的。如果对大家有帮助的话，就给我评个分吧！
目录如下：
第二章多晶硅生产工艺... 1
2.1 改良西门子法... 1
2.2 硅烷法... 2
2.3 流化床法... 3
2.4 生产SOG硅的新工艺技术... 4
2.4.1 冶金法... 4
2.4.2 气液沉积法... 5
2.4.3 无氯技术... 6
2.4.4 碳热还原反应法... 6
2.4.5 铝热还原法... 6
2.4.6 常压碘化学气相传输净化法... 7
2.5 国内相关工艺研究进展... 7
2.5.1 改进改良西门子法... 7
2.5.2 低成本生产SOG硅的新工艺... 8
[ 本帖最后由 yzhms 于 2008-11-29 14:52 编辑 ]

发表于 2008-11-29 14:26:14

增加内容的介绍截图：

发表于 2016-4-10 14:58:51

这个必须看看

发表于 2016-4-11 08:15:37

必须看看

发表于 2016-4-12 14:26:50

先下载看看

发表于 2016-4-12 14:33:16

下载下来好好学习学习

发表于 2016-4-15 11:20:24

正需要这类资料，谢谢楼主

发表于 2016-4-18 10:53:35

高手学习

发表于 2016-4-20 13:58:43

学习

发表于 2016-4-21 11:12:03

多谢楼主，分享学习

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