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多晶硅检测

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发表于 2011-7-18 10:24:07 | 显示全部楼层 |阅读模式
基磷、基硼电阻率、少子寿命、氧碳浓度、基体金属含量分别用什么仪器检测的啊?
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发表于 2011-7-28 01:04:51 | 显示全部楼层
分别为:FT-IR   电阻率仪  少子寿命测定仪  FT-IR   ICP-OES
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发表于 2017-3-1 23:34:16 | 显示全部楼层
多晶硅检测单位是什么
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发表于 2017-5-21 16:49:08 | 显示全部楼层
cryosas 低温红外  icpms
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