CAS号: 13465-77-5
英文名称: HEXACHLORODISILANE
英文同义词: 1,1,1,2,2,2-Hexachlorodisilane;Disilane, hexachloro-;hexachloro-disilan;Si2Cl6;HEXACHLORODISILANE;Disilicon hexachloride
中文名称: 六氯乙硅烷
中文同义词: 六氯乙硅烷;六氯化二硅
CBNumber: CB7433595
分子式: Si2Cl6
分子量: 268.89
MOL File: 13465-77-5.mol
六氯乙硅烷 化学性质
熔点 : 它是怎么生成的,还原不是氢要过量吗?
它的存在对硅沉积有什么影响,为什么还需要专门除去?
eaglet1984 发表于 2009-9-8 09:57
登录/注册后可看大图
不知道生成原理,没见过这方面的文献。在正常生产中,其含量应该非常少的,由其沸点可知,在精馏时很容易作为高沸物除去了,而国外厂家对高低沸物等都利用的比较彻底,国内基本
都淋洗了 |