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一般TCS中硼是以什么形式存在?BCl3还是BmHn

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发表于 2009-10-13 14:40:57 | 显示全部楼层 |阅读模式
一般TCS中硼是以什么形式存在?BCl3还是BmHn?高温硼多点还是低温硼多点?
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发表于 2009-10-13 14:51:01 | 显示全部楼层
主要是BCl3,B杂质一般是以低沸物除去
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 楼主| 发表于 2009-10-21 13:02:18 | 显示全部楼层
2楼说的可能只是一方面吧,我听一些老师傅说,B主要存在于高沸物中,但具体是以什么形态存在就不知道了
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发表于 2009-10-21 21:50:39 | 显示全部楼层
BmHn?是什么东西?
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 楼主| 发表于 2009-10-22 09:17:02 | 显示全部楼层
BmHn是硼氢化合物
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发表于 2009-10-22 11:58:36 | 显示全部楼层
请问TCS是什么的缩写!谢谢!
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发表于 2010-11-9 15:44:24 | 显示全部楼层
回复 6# robin-Y
    三氯氢硅
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发表于 2010-11-9 20:37:01 | 显示全部楼层
TCS是三氯氢硅的缩写
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发表于 2010-11-9 21:15:58 | 显示全部楼层
B/P在氯硅烷中的存在形式比较难说,要提高产品质量现行的办法还是多排放高、低沸点物质。
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发表于 2010-11-10 15:15:06 | 显示全部楼层
TCS中的B是是不是硅粉中的杂质带入的?
生产流程中除了原料应该没有可以带入的啊!
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