多晶硅工艺流程图

求助改良西门子法[wiki]多晶硅[/wiki]生产工艺流程图?为盼!

第三代工艺流程

楼主可以看看这方面的文献啊，多了，比如：
国内外多晶硅工业现状
【英文篇名】 Presant Status of Polysilicon Industries at Home and Abroad
【作者中文名】 郭瑾; 李积和;
【作者英文名】 GUO Jin; LI Ji-he（Wafer Works（Shanghai）Corporation; Shanghai 201600; China）;
【作者单位】 上海合晶硅材料有限公司技术开发中心; 上海合晶硅材料有限公司技术开发中心 上海;
【文献出处】 上海有色金属, Shanghai Nonferrous Metals, 编辑部邮箱 2007年 01期  
期刊荣誉：ASPT来源刊  CJFD收录刊
【关键词】 多晶硅; 太阳能电池; 西门子法; 沸腾床;
【英文关键词】 Polysilicon; solar cells; Siements technique; fluidized bed reactor;
【摘要】 回顾了2005~2006年国内外多晶硅生产现状及2010年前全球多晶硅生产商扩产计划和达产目标,并概括了目前多晶硅生产新工艺。提出全球在2008年以后太阳能级多晶硅产能与太阳能硅电池的需求逐渐趋于平衡,供需矛盾缓和,价格开始回落;太阳能级多晶硅的主流生产工艺仍然是化学法,冶金精炼法将来能成为一种补充;至2010年中国的太阳能级多晶硅工业将在世界上占一席之地;但国内太阳能级多晶硅厂商,在2010年尚不能掌握西门子法低成本工艺、副产品的综合利用及环保技术,将会陷入困境。

国内的基本都是用的俄罗斯流程

多晶硅生产流程

第二代生产工艺流程

赞同楼上的！作为一般的不涉及核心技术的内容，完全可以在论坛公开交流，藏来藏去并不利于提高。国内多晶硅技术至今如此，与相互的交流太少有关。

大家有没有各流程的电气系统图？

作为工艺描述图还不错的，只是很多环节没有标示出来。其实现在基本上都能循环利用了。

今年国内有好几家采用了,德国的技术.在我看来.这个比俄罗斯的技术要先进些，投资相对要小的多。