过程控制
7.1开车前的准备工作
7.1.1通知变电站送点：
按电器设备调试条例，调试还原炉各控制设备。
通知空分空压送压缩空气：
按控制仪表调试条例，调试还原炉各控制仪表。
通知锅炉房送脱盐水：
按各泵的调试条例，调试还原炉水系统各水泵。
7.1.2通知氢气站送0.4MPa的合格原料氢气和0.2MPa的吹扫氢气分别送至K01—1气动控制阀门和KP3—1。
7.1.3当还原、CDI系统开车连网后，通知CDI系统送0.4MPa的回收氢至K02—1气动控制阀门。
7.1.4通知氮气站送0.6MPa的等离子氮气，0.2MPa保安氮气，0.6MPa的吹扫氮气，打开离子氮气手动阀门5.111（3V1003），到汇流排进气手动阀门（3V10054）待用；打开0.2MPa5.12的保安氮气手动阀门（3V1004）待用，打开0.6MPa5.131吹扫氮气手动阀门（3V1001）、到汇流排前软管接头手动阀门（3V1126）、打开0.6MPa5.131吹扫氮到蒸发器软接头前的手动阀门（3V1025）、（3V1027）待用。
7.1.5通知合成岗位送0.15MPa吹扫用HCL气体至（5.311）K05—1气动控制阀门待用。（暂未使用）
7.1.6通知精馏岗位送合格的SiHCL3液体至（8.11）K04—1气动控制阀门待用。
7.1.7通知脱盐水站送循环脱盐水，打开进3.323储水槽的手动阀门（3V1317）到3.323—K09气动控制阀门待用，送循环脱盐水到蒸发器321KP3A/B调节阀门处待用；送循环脱盐水到3.313整流器313—KO气动控制阀门处待用；送循环脱盐水到3.316储水槽316—KO气动控制阀门处待用；送循环脱盐水到F1351底盘水储水曹LV3001气动控制阀门处待用。
7.1.8通知锅炉房送0.6MPa蒸汽，打开3.321蒸发器加热管束321—KP5调节阀门前后手动阀门（3V1317）和（3V1318）待用，打开3.321蒸发器加热管束321—KP1调节阀门前后手动阀门（3V1058）和（3V1059）待用。
7.1.9通知空分站送0.6MPa的压缩空气送至还原岗位各气动控制阀门管路的缓冲罐待用。
7.1.10通知CDI系统开车自运行。
7.1.11通知还原炉组装炉。
7.1.12各还原炉汇流排前后管道的阀门处于关闭状态。
7.1.13蒸发器的操作：（以101蒸发器为例其余操作过程相同）
l 打开3.101蒸发器101—KP1调节阀门和前后手动阀门、KP1调节阀旁通手动阀门、101—K02气动控制阀门、101—K03气动控制阀门、101—KP2调节阀门和前后手动阀门、KP2调节阀旁通手动阀门、101—K04、101—K05、101—K06气动控制阀门、12对棒还需打开流量计旁通处手动阀门。
l 打开0.6MPa氮气手动阀门，将蒸发器、分离器和3.146应急排放罐用氮气充放三次，每次充压至0.2MPa后，打开101—K08放空气动阀门、打开SIHCL3紧急排放容器3.146上的手动放空阀门，对蒸发、分离器和SIHCL3紧急排罐3.146进行20Nm3/h，约1小时吹扫。
l 关闭（5.131）0.6MPa氮气手动阀门（3V1001），关闭0.6MPa（5.131）到蒸发器软接头前的手动阀门（3V1026）、（3V1027）；关闭SIHCL3进料赶氮气软接头前的手动阀门（3V1028）、（3V1029）。
l 打开总汇流排（4.511）0.4MPa电解氢K01—1气动控制阀门、KP1—1调节阀门和蒸发器101—K01气动控制阀门，对蒸发器、分离器和SIHCL3紧急排罐3.146进行20Nm3/h，约2小时吹扫。
l 关闭总汇流排（4.511）0.4MPa电解氢101—K01气动控制阀门、KP1—1调节阀门和蒸发器101—K01气动控制阀门，101—KP1调节阀门、101—K02气动控制阀门、101—K05气动控制阀门、101—K08气动控制阀门、101—K06气动控制阀门、关闭3.146紧急排放罐保压至0.1MPa，蒸发器保持微正压。
l 打开（8.11）K04—1气动控制法门，101—K07气动淋洗阀门，向分离器加SIHCL3液体至液位800mm—850mm，关闭101—K07，将蒸发器系统保压至0.2MPa待用；当还原炉气动成功以后控制蒸发器液位在1000mm—1100mm。
l 第一次使用蒸发器系统，将液位加至800mm—850mm后，用SIHCL3液体浸泡1小时，然后打开101—K05，101—K06气动控制阀门，3.146 紧急排放罐上至淋洗手动阀门，将SIHCL3液体放止应急排放罐3.146，并通知2号厂房准备接受SIHCL3液体，用3.147计量泵将SIHCL3打至2号厂房提纯。
7.1.14蒸发器热水加热水循环（3.321A为例）
l 打开321A—KP3调节阀门、向3.321 热水加热罐加入来自脱盐水至规定液位。
l 打开热水加热罐前的321A—KP1调节阀门和前后手动阀门（3V1058）、（3V1059），出口蒸汽冷凝液疏水阀后手动阀门，用来自锅炉房0.6MPa的蒸汽经过321A—KP1调节进入3.321A热水罐内的加热罐束，对3.321A热水罐内的脱盐水进行连续加热至+20℃～25℃；当还原炉开炉数量较多时可根据具体情况提高加热水湿度。
l 打开热水加热罐的进、出水手动阀门（3V1343）、（3V1354），打开101蒸发器壳层的进、出水阀门。
l 打开（3.320A—1/2）水泵的进水手动阀门（3V1355）、泵出口开关阀门320—K01a/2a。
l 打开（3.321A）加热水槽进出水手动阀门（3V1355）、（3V1356）。
l 还原炉启动成功后，启动（3.320A—1/2）水泵把3.321罐内的脱盐水抽出，送至蒸发器壳层，从下部进入对蒸发器内的SIHCL3液体加热，同时打开101—KP1调节阀门，对蒸发器壳层，从下部进入对蒸发器内的SiHCl3液体加热，同时打开101-KP1调节阀门，对蒸发器送氢对SiHCl3液体进行鼓泡并控制其混合气压力为0.2MPa、温度为+20℃-25℃。通过调节阀101-KP3控制加热水流量来调节蒸发器温度，启泵后应适当开启3.320A-1/2至3.321A的回水手动阀门避免形成憋压，初次送水时需从蒸发器加热水出水管处对管道进行排气。
l 当3.321热水加热罐液位降低时，通过321-KP3调节补给脱盐水来控制其液位稳定。
l 当3.325-2号闪蒸槽进水稳定达到+150℃时，关闭321-KP1蒸汽调节阀门。
l 打开321-KP3调节阀门和前后手动阀门（3V1346）、（3V1356），用+150℃炉筒水对3.321热水加热罐的循环进行加热。
l 经加热后的+130℃返回循环水返回3.323储水冷却槽。
7.1.15 还原炉炉筒循环水开车（暂行）
l 打开3.323储水冷却槽上的323-K09气动阀门，向冷却槽内加入来自脱盐水管网的脱盐水至液位1100mm（上限2200mm下限500mm）。
l 打开冷却槽加热管束上的蒸汽调节阀门323-KP5和前后手动阀门（3V1317）、（3V1318），用来自锅炉房0.6MPa的蒸汽通过323-KP5蒸汽调节阀门进入到插入3.323冷却槽内的加热管束对槽仙的脱盐水加热。
l 打开蒸汽冷凝液的出水手动阀门（3V1320），使加热后蒸汽冷凝液靠压并返回冷凝水管廊。
l 打开3.323冷却水槽的进水气动阀门323-K08和底部出水手动阀门（3V1321），打开（3.324）1MPa水示进水手动阀门（3V1328），启动3.324A/B水泵中的一台（1MPa）把循环，通过调节323-KP7控制进炉筒水管道压力不高于1MPa，当温度达到90℃，确定还原炉装炉完毕后，关闭323-K08气动阀门，打开323-K07气动阀门，打开还原炉炉筒进水调节阀门107-KP2，出水气动阀门107-K012和炉前进出水手动阀门，炉筒水由还原炉炉筒底部进水口进入，出水经107-K012气动阀门、3.323-K07气动阀门返回3.323冷却槽内，被连续加热，再抽送至还原炉炉筒后再返回到3.323冷却槽内加热，如此循环，给还原炉送炉筒水时应对该还原炉炉筒水进行排气。
l 当还原炉启动成功后，关闭323-K07，打开323-K05和323-K06将还原炉筒水切换至3.322板换系统，经过板换冷却再回到3.323，并在通过调节322-KP4，322KP3调节阀控制炉筒水温度在100℃左右。
7.1.17 九对棒还原炉电极水循环水系统
l 打开3.316电极水冷却槽上的气动阀门316-K0，向电极水冷却槽内加入来自脱盐水管网的脱盐水至规定液位1900mm（上限：2000mm、下限：500mm）。
l 打开还原炉集流排进出水阀门，电极冷却水进、出水手动阀门，打开等离子流发生器、观察窗冷却水进、出水手动阀门，打开3.316电极水冷却水槽进、出水手动阀门，打开0.6MPa3.317A/B水泵（2台中的1台）的进、出水手动阀门，打开3.318板式换热器的进、出水手动阀门，打开3.18板式换热器外部循环水进邮水手动阀门，关闭至7号厂房的电极水手动阀门。
l 启动0.6MPa3.317A/B水泵（2台中的1台），手动缓慢开启3.317水泵出水气动阀门317-K01/2，控制炉前集流排处压力在0.2MPa（也可通过炉前集流排旁通阀门进行调节），把3.316电极水冷却槽内的循环水抽出，出水经3.318板式换热器后送至还原炉电极，等离子流发生器、观察窗，对还原炉电极、等廓流发生器、观察窗进行冷却，最后返回3.316电极水冷却槽内，形成一个闭循环。
l 当还原炉启动成功正常运行后，出还原炉电极+30℃的循环水，经3.318板式换热器内被来自冷却站+7℃水冷却到+25℃。
l 而+7℃冷却水对+30℃的还原炉电极循环水进行冷却后，变成+12℃水返回到冷却站降温至+7℃后，再返回到3.318板式换热器进行降温。可通过外循环水上的手动截止阀门，控制电极冷却水温度在25℃。
l 当3.316电极水冷却槽的液位超过控制的上限：2000mm时，超出的循环水从冷却槽上的溢流口自然流出；也可以从3.316电极水冷却槽底部手动阀排放到下水道。
l 当3.316电极水冷却槽的液位低于下限：500mm时，自动开启3.316-K0气动阀门，用系统填充来补给。
l 当调度通知往7号厂房送电极水时，缓慢开启至7号厂房电极水手动阀门，并注意询问流量大小是否合适。
7.1.18 整流器冷却循环系统
l 打开3.313整流器冷却槽上的气动阀门313-K0，向整流器水冷却槽内加入来自脱盐水管网的脱盐水至规定液位1900mm（上限：2000mm、下限：500mm）。
l 打开各整流器冷却进、出水手动阀门，打开3.313整流器冷却槽进、出水手动阀门，打开0.6MPa3.314水泵（2台中的1台）的进、出水手动阀门，打开3.315板式换热器的进、出水手动阀门，打开3.315板式换热器的冷却水进、出水手动阀门。314-K01/2
l 启动0.6MPa3.314水泵（2台中的1台），手动缓慢开启3.314水泵出水气动阀门314-K01/2，控制压力在0.4MPa左右，把3.313整流器冷却槽内的循环水抽出，经3.315板式换热器后，送至还原炉整流器，对还原炉整流器进行冷却，出水返回3.313水泵整流器冷却槽内，再被抽至送至还原炉整流器，形成一个闭循环。
l 当还原炉启动成功正常运行后，出还原炉整流器的循环水，经3.315板式换热器内被来自冷却站冷却水冷却到+28℃。
l 通过3.315-Kp调节阀可控制进入整流器的冷却水温度在28℃。
l 当3.313还原炉整流器水冷却槽的液位超过控制的上限：2000mm时，超出的循环水从冷却槽上的溢流口自然流出；也可以从3.313整流器水冷却槽底部手动阀排放到下水道。
l 当3.313还原炉整流器水冷却槽的液位低于下限：500mm时，自动开启3.313-K0气动阀门，用系统填充来补给。
7.1.19 底盘冷却循环水系统
l 打开F1351底盘冷却水槽的调节进水阀门HV3001，让来自脱盐水管网的脱盐水进入F-1351底盘冷却水槽内至1200mm；
l 打开F-1351底盘冷却水槽的出水手动阀门、打开J1351底盘冷却水泵（一开、一备）的进水阀门、打开C1351底盘冷却水冷却器的进出水阀门、打开还原炉底盘进出水阀门和F1351底盘冷却水槽的进水调节阀门PV3001；
l 启动J1351底盘冷却水泵，缓慢开启J1351水泵出水手动阀门，把F1351底盘冷却水槽内的水抽出，经C1351底盘冷却水板换后送至还原炉底盘进水口，对底盘进行冷却，冷却底盘后的+42℃的循环水进入F1351底盘冷却水槽内，再经水泵抽出，送至C1351底盘冷却水冷却器，控制底盘水流量在30NM3/H左右。
l 打开C1351底盘冷却水板换的冷却进水调节阀门和水阀门，让来自冷却水管网的+32℃的水，对+42℃的底盘冷却水进行冷却，冷却后的+42℃的水返回冷却水管网；
l 通过调节阀TV-3015控制底盘冷却水温度在35℃，经C1351底盘冷却水冷却器的+42℃水变成+35℃，再对还原炉底盘进行冷却，再返回F1351底盘冷却水槽内，形成一个闭循环；
l 当J1351底盘冷却水泵出水压力超压时，打开J1351底盘冷却水泵与F1351底盘冷却水槽之间的短路阀门，给管路减压；
7.1.20 还原炉变压器油冷却器外部循环水系统
l 第一次使用或长时间停用后，先打开外部循环水进出水管上的手动阀，当外部循环水出水管压力超过0.06MPa后，出水管上的安全阀会自动打开泄压。
l 打开增压泵前的进水手动阀，启动增压泵，用增压泵出水管上的手动阀来调节外部循环水出水管的压力，控制在0.05MPa左右。
l 当泵前压力低于0.06MPa后，如果安全阀没有复位，则关闭安全阀下的手动阀，直到复位后，再缓慢开启安全阀手动阀。
7.1.21 十二对棒还原炉电极、整流器冷却水循环系统
l 打开F1361电极水冷却槽上的气动阀门LV3009，向电极水冷却槽内加入来自脱盐水管网的脱盐水至规定液位1900mm（上限：2000mm、下限：500mm）。
l 打开12对棒还原炉集流排进出水阀门，电极冷却水进、出水手动阀门，打开等离子流发生器、视孔冷却水进水手动阀门，各整流器手动阀门、打开F1361电极、整流器冷却水槽进、出水手动阀门，打开J1361a/b水泵（2吧中的1台）的进、出水手动阀门，打开C1361板式换热器的进、出水手动阀门，打开C1361板式换热器外部循环水进出水手动阀门。
l 启动J1361a/b水泵（2台中的1台），手动缓慢开启J1361水泵出水气动阀门，控制炉前集流排处压力在0.2Mpa，确定各整流器有流量25M2/h左右，把F1361电极、整流器冷却水槽内的循环水抽出，经C1361板式换热器后，送至还原炉电极、等离子流发生器、观察窗，对还原炉电极、等离子流发生器、观察窗进行冷却，然后返回F1361电极、整流器冷却水槽，形成一个闭循环。
l 当还原炉启流功正常运行后，出还原炉电极、整流器+30℃的循环水，经板式换热器被来自冷却站+7℃水冷却到+28℃。
l 而+7℃冷却水对+30℃的还原炉电极循环水进行冷却后，变成+12℃水返回到冷却站降温至+7℃后，再返回到板式换热器进行降温。可通过外循环水上的TV3041调节阀，控制电极、整流器水温度在28℃。
l 当F1361电极水冷却槽的液位超过控制的上限：2000mm时，超出的循环水从冷却槽上的溢流口自然流出；也可以从F1361电极水冷却槽底部手动阀排放到下水道。
l 当F1361电极水冷却槽的液位低于下限：500mm时，自动开启LV3009气动阀门，用系统填充来补给。
7.1.22 十二对棒还原炉蒸发器热水加热水循环系统
注：12对棒蒸发器加热水系统为一个加热水罐供应两个蒸发器
l 打开LV3006A调节阀门、向F1331-1热水加热罐加入来自脱盐水站脱盐水至600mm。
l 打开热水加热罐前的TV3033-2A调节阀门和前后手动阀门，用来自锅炉房0.6MPa的蒸汽经过TV3033-2A调节阀进入F1331-1加热水罐内的加热罐束，对F1331-1加热水罐内的脱盐水进行连续加热至+20℃～25℃。
l 打开F1331-1加热水罐的进、出水手动阀门，打开F1321-1蒸发器壳层的进、出水阀门。
l 打开J1331A/B-1（两台中的一台）水泵的进、出手动阀门。
l 打开F1331-1加热水槽进出水手动阀门。F1331-1
l 还原炉启动成功后，启动J1331A/B-1（两台中的一台）水泵把F1331-1罐内的脱盐水抽出，送至蒸发器壳层，从上部进入对蒸发器内的SiHCl3液体加热，现时打开PV3036A调节阀门，对蒸发器送氢对SiHCl3液体进行鼓泡并控制其混合气压力为0.2MPa、温度为+20℃。当还原炉开炉数量较多时可根据具体情况提高加热水温度；通过调节阀TV-3035A控制加热水流量来调节蒸发器温度，通过控制PV3020A可调节蒸发器加热水管道压力，启泵后应适当开启J1331A/B-1至F1331-1的回水手动阀门避免形成憋压。
l 当F1331-1热水加热罐液位降低时，通过LV3006A调节阀补给脱盐水来控制其液位稳定。
l 当F1341-1闪蒸槽出水稳定达到+150℃时，关闭TV3033-2A蒸汽调节阀门。
l 打开TV3033-1A调节阀门和前后手动阀门，用+150℃炉筒水对F1331-1热水加热罐的循环水进行加热。
l 经加热后的+130℃返回循环水返回F1342-1储水冷却槽。
7.1.23 十二对棒还原炉炉筒循环水开车（暂行）
注：12对棒炉筒水循环系统为一套系统为4台12对棒还原炉进行冷却。
l 在装炉组完成装炉，并保压成功后，开始向12对棒还原炉输送筒水。
l 打开F1343-1储水冷却槽上的HV-3012A气动开关阀门，向冷却槽内加入来自脱盐水管网的脱盐水至液位1100mm（上限2200mm，下限500mm）。
l 打开冷却槽加热管束上的蒸汽调节阀门TV-3025A和前后手动阀门，用来自锅炉房0.6MPa的蒸汽通过TV-3025A蒸汽调节阀门进入到插入F1343-1冷却槽内的加热管束对槽内的脱盐水加热到80℃。
l 打开蒸汽冷凝液的出水手动阀门，使加热后蒸汽冷凝液靠压差返回冷凝水管廊。
l 打开F1343-1冷却水槽的进水调节阀门HV-3005A和前后手动阀门，底部出水手动阀门，打开12对棒还原炉炉筒出水手动阀门，打开HS-3002A气动开关阀门，打开HS-3004A或HS-3005A气动开关阀门和与之相对应的HS-3022A或HS-3023A气动开关阀门，打开J1341A/B-1（两台中的一台）水泵进水手动阀门，启动水泵中的一台（1MPa）把F1341A/B-1泵返回F1343-1冷却水加热水罐的手动阀门，通过调节该手动阀门控制进炉筒水管道压力不高于1MPa，缓慢开启TV3018A调节阀，控制炉筒水流量在45NM3/h左右，还原炉正常运行后控制温度在100℃左右，出炉筒后经C-1341a/b-1板换返回F1343-1冷却水槽，可通过控制PV-3009A控制管道压力，当F1343-1冷却水槽温度稳定在80℃左右后，关闭TV-3025A蒸汽调节阀门停止对其加热。
l 当还原炉启动成功后，在炉筒水温度达到95℃左右时，开启C-1341a/b-1板换外部循环水调节阀门TV-3026A和TV-3026B对炉筒水进行降温，再返回到F1343-1冷却槽内，如此循环，在给还原炉送炉筒水时应对该还原炉炉筒水进行排气，排气后关闭手动排气阀门。
7.1.24 水系统备用泵与使用泵的倒换：
在水系统各泵使用达到168小时后，应对其和泵用泵进行更换，以避免设备长期运转造成损坏，换泵时最好有两人同时进行操作，以保持水系统压力的平稳。
假设A为使用示，B为备用泵
l 打开B泵进口手动阀门，启动B泵，通知主控和现场人员注意设备压力，由一人逐渐关小A泵出口阀门，另一人缓慢开启B泵出口阀门，期间尽量维持设备压力稳定，直至A泵出口阀门完全关闭，B泵达到设备所需压力后，关闭A泵电源和进水阀门，倒换泵完毕。
7.1.25 还原炉系统赶气（只操作一台还原炉，其余各炉相同）
l 装炉组装炉完成后对还原炉通往氮气至0.2MPa封压半小时，如无泄漏情况或压力降低小于0.03MPa，检查抽空泵水槽内是否有水，然后打开炉前尾气手动阀门，抽空管道手动阀门，打开抽空泵进气阀门，运行抽空泵对还原炉抽空至-0.08MPa～0.09MPa后关闭还原炉尾气管道上的抽空管手动阀门，12对棒抽空时就关闭视孔冷却水，重新对还原炉内充入氮气至正压，再进行抽空，反复三次，最后用氮气保持微炉内微正压，赶氮气走放空或淋洗。
7.2 还原炉启动
7.2.1 启炉前的准备和启炉
检查待启还原炉电极、等离子、底盘、炉筒的冷却水等是否已送，12对棒视孔水是否已送，通知主控检查各流量开关是否有报警，送炉筒水同时注意对炉筒水进行排气，完毕后关闭排气阀。
l 检查炉变保护柜是否处于工作状态，通知调度安排电器人员对还原炉调控柜进行检查，将等离子阴阳极电缆与等离子发生器阴阳极连接完毕，通知调度给等离子发生器送电，电工检查调控柜无问题后，合上炉变保护柜上变压器电源开关，检查变压器冷却油泵和外部循环水是否运行正常，检查还原炉急停开关是否处于正常状态，通知主控和炉前人员还原炉准备送电启炉。
l 由主控人员合上还原炉隔离开关（具体过程见付1DCS控制调控柜的开停机过程），给还原炉送电，做空载耐压实验；
l 通知现场人员准备启动等离子，检查等离子切割机处于自锁状态，水冷、气冷处于该切割机要求状态；12对棒还需启动石墨加热棒，将待启动还原炉的石墨加热棒送电，并缓慢调节石墨加热棒电源开关至电压达到50V左右，电流250A左右，并通知炉前人员检查石墨加热棒是否启动成功，是否存在拉弧现象。
l 打开（5.111）1.4MPa等离子氮气手动阀门（3V1066）、打开汇流排等离子氮气流量计107—F14两端的手动控制阀门，让等离子氮气通过等离子流发生器进入还原炉内，关闭吹扫氮气手动阀门（3V1126），排向淋洗塔。
l 开通等离子发生器电源，调节等离子氮气流量在4NM3/H左右，并通知炉前人员启动等离子切割机，启动成功后将等离子N2流量控制在20NM3/H左右，等离子发生器电压在255V，电流在255A左右，形成等离子加热气体通入还原炉内；并检查炉内硅芯情况，有无倒靠，横梁是否搭接好，启动过程中硅信、底盘有无拉弧现象；在启动等离子一个小时后，如果炉内硅芯仍未击穿，根据启动情况需要延长启动时间，应报告调度或停等离子在等离子发生器冷却后重启。
l 在所有的硅芯出现电流后，通知仪表人员安装红外测温仪，调节所有硅芯的表面温度1100℃左右。
7.2.2启炉成功后停等离子发生器，并在等离子发生器冷却后，关闭等离子发生器电源，关闭（5.111）1.4MPa等离子氮气手动阀门（3V1066）、关闭汇流排等离子氮气流量计107—F14两端的手动控制阀门，打开吹扫氢气手动阀从等离子氮气旁路赶气。对于12对棒还原炉在启动等离子过程中应关闭视孔保护氢气气动控制阀门HS—3025A，启动成功后才打开吹扫视孔的保护氢气阀门HS—3025A，保持少量氢气吹扫视孔镜片，等离子发生器的保护氢气和视孔吹扫氢气在整个正常生产过程中均需要开启。
7.2.3打开汇流排上107 —FI3两端的氢气手动控制阀门（3V1090），并保持氢气流量为30～40Nm3/h，并用氢气空烧30～35分钟，排向淋洗塔。
7.2.5氢气空烧时间到后，打开汇流排上107 —FI1两端上的HCL阀门（3V1162），调节HCL流量为5 Nm3/h，调节0.2MPa的氢气流量为45 Nm3/h，HCL气体和氢气混合气进入还原炉腐蚀硅芯，腐蚀时间为30分钟，排向淋洗塔。
l 腐蚀完成后，关闭还原炉尾气到淋洗塔的气动开关阀107—K03，开启还原炉尾气到CDI—1尾气回收系统的气动开关阀107—K05，还原炉尾气排向CDI—1尾气回收系统，关闭HCL手动阀门（3V1162）。（暂未使用7.2.5）
7.2.6确认CDI—1尾气回收系统已启动，并以作好尾气进料准备。
l 打开101—K09混合气开关阀门，打开混合气通向还原炉的气动开关阀107—K01，和炉前混合气手动阀门，关闭0.2MPa氢气阀门（3V1090），停止吹扫氢气，关闭107—K03至淋洗气动阀门，缓慢开启107—KP1调节阀，先小流量进料0～30Nm3/h，当炉内压力在高于
尾气管道上的压力时，开启105—K05启动阀门。（一般情况下尾气管道压力在0.05MPa左右）
l 如果不进行自动供料，则按5.2条中的供料条件表，在DCS画面上手动调节炉前调节阀控制进炉混合气流量。
l 当CDI系统开始向还原蒸发器供0.35MPa合格回收氢时。
l 打开（4.521）0.35MPa
气动阀门K02—1向还原蒸发器供回收氢，同时关闭（4.511）0.4MPa原氢气调节阀门KP3—1。
l CDI系统供给氢气压力〈0.35MPa时，氢气调节阀门KP1—1自动打开，开始向系统补氢气，直到供给氢气压力达到0.35MPa时，停止补给氢气。当CDI系统供给氢气压力〉0.4MPa时，氢气放空阀KP2—1自动打开，将氢气向空排放，直到供给氢气压力降到0.4MPa时，停止氢气放空。
l 还原炉转入正常生产。
7.3还原炉正常生产
还原炉将进行倒极，此时炉前人员应注意炉内硅棒有无异常情况，倒极成功后，视情况可将其投入自动升电流和自动供料模式。注：若快达到倒极条件，可根据炉内硅棒情况多加点电流，使其倒极，以防止电抗器长时间在高负荷下运行被烧坏。
l 经常检查蒸发器、还原炉的各个控制条件是否稳定，并适时调节。
l 经常检查各还原炉电器控制系统接触头及元件发热情况，若有问题及时报告电工处理。
l 经常检查个还原炉、蒸发器、各供料管道有无滴、跑、漏、冒现象。
l 经常检查各个循环水泵运转是否正常。
l 经常检查各个还原炉炉筒、底盘、整流器、电极、等离子器、观察窗冷却循环水是否畅通。
l 每小时记录一次，数据要准确及时，字迹要工整。
l 定时检查DCS操作画面还原炉各控制点参数，来确定还原炉生产运行是否正常。
7.4正常停炉
根据生产计划要求，硅棒长到要求直径时，应及时停炉。
l 逐渐关闭还原炉混合气入口调节阀门107—KP1，并根据炉内情况适当降低电流，关闭混合气入口气动开关阀（3V1090），控制氢气入炉的流量为30Nm3/h，用氢气赶气空烧半个小时。
l 如不在使用蒸发器，则停止向蒸发器供料，并将蒸发器保压至0.2MPa左右。
l 炉按钮，开始自动降电流。（主控具体停炉操作参见附1）
l 在降电流过程中保持赶氢气，当停炉断电后，应断开还原炉调功柜隔离开关电源开关，9对棒还应断开炉变保护柜变压器电源开关。在降低电流和停止供电过程中，电流要逐步降低，以免出现硅棒温度因下降过快而破碎的现象。
l 当炉内夺棒基本冷却后，关闭还原炉尾气到CDI-1尾气回收系统的气动开关阀107-K05，并打开还原炉尾气到淋洗塔的气动开关阀107-K03，关闭吹扫氢，打开（5.131）0.6MPa氮气与还原炉汇流排氮气之间的软接头，并打开软接头，并打开软接头端的手动阀门，打开107-F12氮气流量计两端的手动控制阀门（3V1126），并保持入炉氮气流量20Nm3/h，吹扫40分钟，还原炉尾气通向淋洗塔。
l 吹扫完成后，关闭还原断尾气到淋洗塔的气动开关阀107-K03，关闭吹扫氮气流量计两端的手动阀门（3V1126），保持还原炉微正压，等待抽空拆炉。
l 待还原炉炉筒、底盘、电极、整流器冷却水等出口温度下降到与入口对应的温度基本相同后，关闭还原炉炉筒热水进水调节阀门107-KP2、关闭还原炉炉筒热水出水管道到170℃和150℃循环热水总管的气动阀门107-K011和107-K012，停止该还原炉的炉筒热水循环，打开还原炉炉筒热水出口管道（还原炉顶部）连通到停炉水罐3.328的管道上的气动阀门107-K09，此时还原炉炉筒内的高温水会减压闪蒸，产生的蒸汽进入停炉水罐3.328中，使该3.328水罐的压力升高，直到3.328水罐的压力平稳。
l 打开还原炉炉筒底部进水气动阀门107-K08、打开3.328水罐进出管路上的短路气动阀门328-K013，让约+130℃的还原炉炉筒水经短路气动阀门328-K013全部流进3.328停炉水罐中后，关闭328-K013气动阀门。
l 开启泵3.329，同时开启还原炉炉筒热水入口管道（炉筒下部）连通到停炉水罐3.328的管道上的气动开关阀，将水罐3.328内的水经板式换热器3.330和炉筒循环冷却，当炉筒循环冷却到出水温度低于50℃后，停止泵3.329，开启水罐3.328顶上的勇气阀和短路阀，炉筒内的水被放入水罐内储存。（暂未使用）
l 还原炉重新启动前，用泵3.329将水罐3.328内的水注入炉筒夹套内。（暂未使用）
l 赶气完成后，将还原炉用氮气转换、抽空三次，完成后保微正压，通知装拆炉操作人员进行拆炉。
7.5 异常情况操作步骤
7.5.1 如果生产过程中突然停电。
l 应打开吹扫氢，关闭混合气进气调节阀和手动阀，还原炉尾气切换至尾气淋洗塔。打开汇流排上0.2MPa吹扫氢气阀门（3V1090），并保持氢气流量为30～40Nm3/h，并关闭混合气入口气动开关阀107-K01，关闭还原炉混合气进气调节阀门107-KP1、关闭还原炉尾气到CDI-1尾气回收系统的气动开关阀107-K05，并打开还原炉尾气到淋洗塔的气动开关阀107-K03，停止向各使用蒸发器供应氢气和三氯氢硅，关闭其气动阀门，将蒸发器保压至0.2MPa左右。
l 如果瞬间来电，马上进行复位，复位成功后电流恢复至停电前的数据，再赶H2 30Nm3/h空烧30分钟后进料。
l 进料前，关闭开还原炉尾气到淋洗塔的气动开关阀107-K03，并打开还原炉尾气到CDI-1尾气回收系统的气动开关阀107-K05、打开混合气入口气动开关阀107-K01、打开还原炉混合气进气调节阀门107-KP1。并恢复到停电前的供料条件，进行操作。
l 如果复位不成功，应按停炉操作程序停止还原炉生产，准备进行新一炉的生产。
l 如果短时间和长时间过后，可使用等离子进行加热启动，启动成功后按正常操作进行生产。如果不能复位应按停炉操作程序停止还原炉生产，，准备进行新一炉的生产。
l 在整个过程中，循环水应有应急电源供电，保证有一定的水量循环。
l 如果吹扫H2气已无压力，无等离子保护氢，迅速将还原炉到尾气回收阀门关闭，开尾气淋洗塔的气动阀门107-K03立即停止还原炉供电，开启保安N2气气动阀门进入还原炉降温。
7.5.2 还原炉炉筒水循环故障
l 停止还原炉供电。
l 关闭混合气进入还原炉的气动阀门107-K01、调节阀门，开启流量为30～40Nm3/h的吹扫氢进入还原炉。
l 此时应密切关注炉筒温度变化，如果温度上升而循环水仍未恢复，则应按停炉处理，在氢气量足够时，不能用N2气赶气。
7.5.3 还原炉底盘垫圈或窥视孔泄漏，引起着火。
l 此时应立即将还原炉断电，停止进混合气（关炉前混合气阀门107-K01，打开炉前汇流排107-FI3上、下手动阀赶H2气少许5m3/h）关闭尾气回收阀107-K05、打开107-K03向淋洗塔排气。
l 开启保安N2气气动阀门107-K02进炉后，渐渐关闭吹扫H2手动阀门。
l 直到炉前明火扑灭后，再另行处理。
7.5.4 还原炉炉壁漏水
l 此时应立即停电，停止进混合气（关炉前混合气阀门107-K01，通入N2关闭该炉到CDI的尾气阀门107-K05，关闭循环水进水调节阀门107-KP2、关出水气动阀门107-K011或107-K012。
l 废气不能进入CDI系统，只能通过107-K03进入尾气淋洗。
7.5.5 还原炉底盘或电极被打穿进水方法和还原炉炉壁漏水处理方法一样。
7.5.6 其他意外事故：
l 当蒸发器液位计泄露，关液位计上下两个阀门，再更换液位计。
l 当蒸发器进H2或进料流量坏了，需关上下两个阀门，更换备用的。
l 当还原炉内硅棒发生氧化现象，应断定为局部还是整体，视其情况允许继续生产或给予停炉处理。
l 当发现还原炉内硅棒与石墨交接处有拉弧现象，视其情况，当拉弧现象较大时，可作紧急停炉处理。
l 当蒸发器压力突然上升时，应检查还原炉炉压、CDI尾气压力、和原料氢或回收氢调节阀门，是否在控制范围内，应视其具体情况进行处理。
7.5.7注意事项
l 直接放空管道供还原炉赶吹扫氮气、氢气及紧急情况下放空使用，不准在打开直接放空管道的同时打开直通淋洗和回收管路的阀门，
l 在生产过程中，蒸发器放空气动阀门101—K08和还原炉放空气动阀门107—K04不得随意打开。
l 若还原炉出气管有堵塞现象，在炉上处理时，应须用N2将管内H2赶净，并在同N2保护情况下进行处理，以免处理过程中发生爆炸及烧伤事故。
l 装完炉并用N2吹洗后，到气动时间仍不能按时启动，应将还原炉所赶N2吹扫改为H2吹扫。
l 将吹扫H2该向通到CDI系统（关闭107—K04气动阀门、打开107—K05气动阀门）。
l 当还原炉观察孔镜片模糊，更换时，应在通上保安氮气情况下更换镜片。
l 在生产运行中处理一些跑、冒、滴、漏应急事故时，应该首先打开排风，在通上保安氮气情况下，进行处理。
7.5.8设备的清洁：
l 设备（包括阀门，管道）在制造运输过程中，表面会受到不同程度的玷污，在安装前必须进行清洗处理，清洗设备应在有排风或自然通风的清洗池内进行，为避免返工，清洗前设备必须经过打压检漏，并确认合格。
l 先用自来水冲洗并擦去表面附着物，焊渣，铁锈等。
l 用金属洗涤机擦洗表面油污，直到无油污后，在用自来水，蒸馏水，去离子水依次冲洗并达到要求。
l 用干燥N2将水吹干（或采取加热方式）封装备用，对于阀门除按此程序进行外，还要拆开清洗在组装，打压。
l 石英的清洗，不可用浓HF酸（用稀的，时间不宜过长，并立即用水冲洗）
l 炉体的清洗见（还原炉炉体清洗操作规程）。
7.5.9设备的控制
l 为保证多晶硅产品的质量，当班人员必须加强对还原炉炉前系统、电控系统、回收系统和冷却系统的管理，随时巡回检查运转情况是否处于受控状态，发现问题要及时处理。
l 设备的维护和保养
l 要重视设备的维护和保养，特别是预防性的维护和保养。
l 在每次开炉之前，应注意检查还原炉、电控、冷却水系统的完整性、灵敏性、耐压及通畅程度，已出现的隐患一定及时整改。
l 设备运转中，各班人员均要检查炉前冷却系统，电控系统，接触器，整流器发热情况，水泵运转情况，能处理的要及时处理，不能处理的要及时上报处理。
l 停炉后要对全系统存在的问题进行维修，对控制仪表进行校正，确保还原系统各设备处于良好的状态。
7.5.10生产控制重点
l SIHCL3原料必须符合质量要求，不合格不准投入生产。
l H2露点、O2含量、CO2含量、CH4含量在控制线内。
l 按规定配比进料。
l 发现硅芯表面生长不正常或硅棒表面异常，均应停止生产并进行处理。
l 发现硅棒与石墨头，石墨座与电极有拉弧现象时应停炉处理。
7.5.11多晶硅产品的分析检验
多晶硅产品按要求检验，特别是硼、磷及金属污染，可根据取得的检验数据，运用统计技术制得相应图表，看产品质量走势，采取相应措施。
7.5.12更改工艺条件的控制
为保证生产质量，对已规定的工艺条件，必须严格加以执行，任何人不能随便改动。
l 工艺普通控制条件的更改，由工序工艺技术员提出，工段技术组讨论，报上级领导批准，报厂有关部门备案。
l 对影响质量的工艺的更改，均应在不影响正常生产的前提下进行工艺验证试验，并对产品质量进行评价，以验证更改后的产品质量是否达到预期的效果。
l 当工艺更改而引起工序和产品质量特性之间的关系的任何变化时，应将变动情况在有关技术文件上说明，并及时通知有关部门。
7.5.13安全技术操作
H2为五色无味气体，和一定比例空气混合后，在有火星及700℃以上高温作用下极易发生爆炸（爆炸上限为73.5% H2和26 .5%空气，下限为5% H2和95%空气）
为确保氢气不发生泄露事故，应注意以下事项：
l 设备系统不漏气。
l 备有足量的安全N2。
l 生产过程中的设备、管道用N2充分置换后，才能通入氢气。
l 室内绝对禁止明火，在必要的作业时，经安全员同意，采取可靠安全措施，并持有安全部门签发的动火作业票，否则不能动火作业。
l 万一发生氢气着火或爆炸事故时，不得先切断氢气，以免回收引起更大的事故，而应在正压力下进入安全N2，缓慢关H2阀灭火或以CO2封闭灭火。
l SIHCL3易挥发，易水解，易爆，对人体呼吸系统有强烈刺激作用，因此要求设备系统不漏料。
l 因SIHCL3引火点8℃，着火点220℃，所以要避免同火焰，火花或高温物体接触，万一发生着火，爆炸首先切掉料源，迅速隔离着火点用CCL4和CO2灭火器灭火。
l SIHCL3溅入眼，脸上时，用干纱布或毛巾擦，然后找医生治疗，不能用水冲洗。
l 清洗管道设备时，要戴上防酸手套和眼镜，以防酸碱烧伤。
l 如进行高压启动（包括做耐压试验）先打警报铃，铃声响起后，任何人不得到还原炉前。
l 开炉前后，还原炉内可能附有一层硅氯聚合物，该附着物受到摩擦或冲击可能引起火花，操作时应注意。
l 必须经常检查冷却水流通情况，若还原炉筒断水，湿度极度高时，切不可立通水，要停电降温后处理。
l 注意正确使用液压升降机，操作人员必须遵守高空作业安全规定。
淋洗塔作详见淋洗塔操作规程。
7.5.4 还原炉炉壁漏水
l 此时应立即停电，停止进混合气（关炉前混合气阀门107-K01，通入N2关闭该炉到CDI的尾气阀门107-K05，关闭循环水进水调节阀门107-KP2、关出水气动阀门107-K011或107-K012。
l 废气不能进入CDI系统，只能通过107-K03进入尾气淋洗。
进水后，废气进入尾气淋洗，有水不就把管道堵了吗
发表于 2010-3-22 09:03:59
