关于鼓泡式汽化器配比计算探讨

发表于 2010-4-30 14:58:46

国内很多多晶硅厂家多晶硅车间TCS和H2混合都采用鼓泡式的操作，计算方式大家也比较统一，即算出TCS在气化温度下的饱和蒸汽压，然后根据操作压力（一般为表压，需要转为绝压进行计算）计算出H2分压，从而能得到H2：TCS的配比。
   开这个帖子的目的是将我自己得到的一点经验给大家分享一下，也请大家帮忙验证一下我的计算是否准确，并且讨论下TCS分压计算公式选哪一个公式？
      目前我使用的主要是四个公式：
         a. 化工上常用的安托尼方程式，即：

，其中的五个系数可查手册得到，P单位为mmHg；
b. 行业内惯用的两个经验公式，行业内的人应该都知道

这个公式算出来和安托尼方程式相差较大，P单位为KPa；
c. 根据几组实际TCS饱和蒸汽压值通过Origin拟合曲线得出的公式

进行计算，结果和安托尼方程式很接近，P单位为KPa。
请问给位TX，你们是选用的什么公式进行计算？我的计算方式是否妥当？请指正。
也请各位TX分享下还有其他的计算方式没有？多多交流。

发表于 2010-4-30 15:01:47

最好的应该是安托万方程吧
虽然你自己拟合的曲线也合适，但是万一你不知道饱和蒸汽压呢；

发表于 2010-4-30 15:02:57

既然都已经知道饱和蒸汽压了大概就没必要拟合了呵呵
因为计算配比就是根据饱和蒸汽压来的

发表于 2010-4-30 15:04:28

2# poqwie007
嗯，的确这样，根据分析结果来看，也是这样，但分析的方式还有待改进，现在的取样方式还不太行，顺便探讨下，还原炉进出口气取样分析，怎么做才是最准确的？

发表于 2010-4-30 15:07:17

3# poqwie007
知道的数据毕竟是少数，要想知道全部的数据，特别是在用Excel做进料表时更加需要公式的支持。

发表于 2010-4-30 17:10:03

我个人认第一个安托因方程式正确的。其余的东西不准确，还可以根据拓展的安托因方程利用ASPEN来计算出所有物质的饱和蒸汽压。

发表于 2010-5-4 11:14:37

但从实际的生产数据和分析数据跟踪来看，Antoine公式进行配比计算还是不怎么准确，还有误差，不容易找出与实际数据匹配的计算公式

发表于 2010-5-7 11:57:40

现在设计最好不要用鼓泡器，直接加热汽化就可以了！

发表于 2010-5-7 14:52:04

理论计算是实际操作的依据过程，实际操作时是要按尾气数据进行汽化操作的修正的

发表于 2010-5-7 16:23:11

理论计算是实际操作的依据过程，实际操作时是要按尾气数据进行汽化操作的修正的
吉人赤子发表于 2010-5-7 14:52

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按尾气数据进行修正？
能详细说说吗？修正前后的配比能数据化不？

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