求多晶硅还原炉的设计步骤

发表于 2011-8-22 16:49:13

想设计一个多晶硅的还原炉，但不知道如何下手，如何确定还原炉的高度，尺寸，进料量，还有，能量和物料衡算怎么做呢，化工工艺设计手册上好像没有关于还原炉的部分啊。求高人指点。（注：还原炉内硅棒对数已知）

发表于 2011-8-23 08:23:19

对数确定也没用的啊，还原炉的其他的参数你起码知道吧，要不你设计出来也没人用，你不是设计院，整个流程你可以控制，设备设计就是一个节点，人家需要怎么样的结构，需要设备所达到的生产能力，工艺所要求的

发表于 2011-8-23 08:58:36

给你提个醒：
还原炉尺寸决定反应物料的体积，反应物料的体积可以根据pv=NRT计算，P、N、T问问学工艺的都知道
物料衡算，就看你们单周期要产多少多晶硅，根据转化率和反应式算算物料的各个组分含量
能量衡算，找反应热和焓值吧，查查数据，再计算

发表于 2011-8-23 10:25:33

回复 2# 287794392
恩，其它参数知道一些，但是不知道依据什么步骤开始做，有点无从下手的感觉，不像传统的塔设备设计，也有案例参考啊

发表于 2011-8-23 10:31:48

回复 3# ymlgx
谢谢啦，本来一点眉目也没有的，听你指点一下，至少可以知道该从哪方面下手了，都是关键的步骤啊，感激啊，再有问题还望多多指教！

发表于 2011-8-23 16:57:39

这个是技术问题，最好与设计院商讨可能效果更好！

发表于 2011-8-23 21:06:20

回复 6# cammy166
恩，我找了很多地方也没有相关的资料，就是想练练手，算是了解一下还原炉的工艺，自己也是刚接触，感觉很困难。

发表于 2011-8-24 15:58:33

回复 3# ymlgx
你好，我还想请教一下，反应器的体积需不需要减去初始发热器占的体积，还有，我大概用各组分进出口流量算了一下，都用的平均值，得到硅的沉积速度与按单炉产量算出来的沉积速度有很大的出入，请问这个怎么处理，麻烦了！

发表于 2011-8-25 08:21:51

回复 8# 明日的记忆
1、反应器的体积不需要减加热器的体积。
2、用尾气出口流量根据反应式算硅的沉积速率，这也只是一个即时速率；用反应后硅棒的重量或者粗细除以反应时间这是平均沉积速率，当然不一样，国内一般都是用后者来表征。

发表于 2011-8-26 14:47:21

我的邮箱chemic@126.com 可以提供

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