多晶硅的纯化要求

发表于 2009-4-27 09:53:49

麻烦各位高手，我想请问制氮机在多晶硅上的用途是什么啊？如果是要后期纯化，对氢气的含量有要求吗？

发表于 2009-4-27 13:38:36

怎么没有人帮忙啊？晕~~

发表于 2009-4-27 13:53:57

氮气在多晶硅生产过程中的用量非常大，主要用于充氮保护、氮封。根据工艺的不同其纯度要求也不一样，但有个共同点就是必须要干燥,多晶硅中氮气主要用于打压检漏装置，开车时管道置换，炉内进氢气或其他气体时排除空气，封压，等以及安全事故的处理.
多晶硅的纯化见下面
https://bbs.hcbbs.com/viewthread.php?tid=436225&page=1#pid2347800

发表于 2009-4-28 09:59:30

谢谢3楼的太感谢了

发表于 2009-5-21 15:46:14

本帖最后由 chc1125 于 2009-5-22 10:39 编辑
氮气要求很高的无油露点要求一般都-60了主要是用于物料输送保护吹扫用

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