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求助多晶硅还原炉相关问题

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发表于 2008-11-21 15:58:29 | 显示全部楼层 |阅读模式
请问在整个还原沉积过程中,会发生什么样的反应使何种物质生产粘附在炉桶壁(钟罩)上。当钟罩拆卸后需注意哪些问题,在钟罩上会生产何种物质?万分感谢!
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发表于 2009-1-10 23:27:27 | 显示全部楼层
会有聚氯硅烷
防止燃烧、爆炸
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发表于 2009-1-11 09:08:04 | 显示全部楼层
很多时候会出现聚合物附着在钟罩上的,成分很复杂,易水解,产生HCL和H2、SiO2等,下次用时需要清洗。
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发表于 2009-1-13 16:26:40 | 显示全部楼层
炉筒内壁黄白色粉末为自燃物,是硅棒比较大的时候炉内温度高,气相沉积的产物。炉内也易形成高氯化合物
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发表于 2009-1-13 20:03:39 | 显示全部楼层
会行成氯硅烷聚合物,很容易燃烧和爆炸,在操作种要特备注意
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发表于 2009-2-6 17:45:42 | 显示全部楼层
生成硅卤化合物,易燃。
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发表于 2009-2-6 19:29:23 | 显示全部楼层
那么有没有很好的办法对炉筒进行清洗呢?我们的每次都清洗不干净

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发表于 2009-2-7 19:35:54 | 显示全部楼层
会有聚氯硅烷
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发表于 2009-2-20 17:12:08 | 显示全部楼层
会产生聚氯硅烷即硅油的产生,硅油比较危险,遇空气会自燃或爆炸,处理方法是在停炉时减少钟罩冷却水流量,使钟罩温度升高,使硅油分解掉,因为硅油极不稳定,在300度左右就会分解挥发。
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