多晶硅生产中的废气应该作何处理？

多晶硅生产的工艺越来越趋于成熟化，然而多晶硅生产所带来的废气处理成了大多生产厂家所头疼得问题，随着多晶硅生产的扩大化，多晶硅污染问题越来越严重，许多生产厂家倾向于利润而忽视了环境问题，那么多晶硅生产过程中所产生的废气到底该做何处理呢？请大家积极参与讨论，谢谢！

有专门的废气废液处理啊,处理后固体掩埋或焚烧.

用专门的废气废水处理厂家，一般废气废水联动处理，用中性水喷淋处理废气，用碱液喷淋处理硅芯酸雾，用氢氧化钠或者是回水处理废水，水可以循环利用，定期外排

多晶硅生产过程中 尾气的种类和来源太多了。
一般还原炉 和氢化炉的尾气要进行回收，目前国内大多数多晶硅厂家用的美国CDI技术，国内技术好像还没有那家在用（希望国内技术加快研发力度，赶上国际水平，其实也不是很难的）。
硅棒清洗过程中需要酸洗，特别是氢氟酸需要特殊处理，因为国家对含氟的排放有严格要求的。据介绍有的是用氧化钙和HF反应生成Ca2F。然后将固体单独处理。
还有就是精馏或一些置换的尾气，当然要用淋洗塔处理。然后中和排放废水。

氯硅烷的废气用碱液处理
氢氟酸用钙离子处理

产生的废气主要为氯硅烷，氯化氢等酸性气体，可采用石灰乳对这些废气在淋洗塔中进行喷淋中和处理，产生的大量水解物定期清理。

还原尾气通过西门子法回收再利用。
生产过程 产生的尾气一般通过尾气淋洗塔还处理，主要成分氯硅烷、氯化氢等一般保持压力不超过20kpa，淋洗水流量40～60m3，当然可以具体计算
酸洗的尾气主要是多晶硅块、硅芯和HF、HNO3反应生成的NOx、HF等，主要通过NaOH进碱液池中和反应，酸雾淋洗塔处理。
液氯尾气主要是更换液氯钢瓶置换气，通过碱池（NaOH25%左右）处理。

多晶硅生产中产生的尾气，都有专门的回收系统。
还原炉尾气：有CDI分离氢气、氯硅烷、HCl。
       氢气:送回还原继续利用；
       氯硅烷:送精馏工段提纯；
       HCl：送三氯氢硅合成。
氢化炉尾气:主要有三氯氢硅、氢气、四氯化硅，还有其它少量的氯硅烷。也有CDI分离重复利用。具体和还原炉尾气处理相似。
还有合成的尾气处理，都是有CDI处理的。