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多晶硅24对棒生产控制

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发表于 2009-4-17 20:53:11 | 显示全部楼层 |阅读模式
请问谁有24对棒的生产经验,可否指教一二啊
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发表于 2009-4-17 22:38:36 | 显示全部楼层
和9对和12对棒的一样哈
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发表于 2009-4-18 23:08:33 | 显示全部楼层
起炉容易倒炉,快停炉容易裂棒。
除了产量大,缺点很多。现在考虑更换硅芯,保证产量,尽量长粗,防止倒棒。
现在还是实验阶段,没有进行加压处理,是12对棒的两倍时间,单位增长速率一样。
石墨卡座、电极四氟套、窥视孔都还需要进一步改造
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发表于 2009-4-20 23:58:18 | 显示全部楼层
二十四对棒就是十二对棒的加大版呀,缺点比较多,倒炉几率是十二对棒的二倍。
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发表于 2009-4-21 10:55:14 | 显示全部楼层
大家觉得倒炉的原因有哪些呢?
除了开始和开炉时刻易倒,中间倒会出现在什么阶段?
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发表于 2009-4-21 12:51:57 | 显示全部楼层
首先 进气孔的分布需要作调整
是气流均匀的进入炉内
这样硅棒均匀生长
防止硅棒较小时就倒棒
当然 棒数越多、越难控制
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