多晶硅炉进气喷嘴

发表于 2009-3-13 16:49:00

相信大家看到过类似事情，硅棒倒伏后，部分硅渣进入多晶硅炉进气喷嘴中，从而堵塞了进气孔，我公司这段时间一直都有这种情况！大家讨论下，进气喷嘴该如何设计，才能防止类似事情那？或是在原有基础上，该采取怎样的措施那？

发表于 2009-3-13 17:25:53

喷嘴以下几厘米处内衬不锈钢网，网孔比较大都可以，只要保证大的硅渣不掉下去

发表于 2009-3-15 11:41:45

那对进气没有影响吗

发表于 2009-3-16 16:48:13

原帖由南希于 2009-3-15 11:41 发表

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那对进气没有影响吗
阻力是有点，但是影响很小，因为在喷嘴以下几厘米处，所以混合气不会发散

发表于 2009-3-19 15:32:28

那还不如用突出不锈钢网这样倒下的也堵不了管口

发表于 2009-3-19 15:39:44

可以在前面加Y型过滤器

发表于 2009-3-19 15:59:07

在原有设备上进行改进的效果是不会很好的，似乎也只能加过滤网，网格比较大的就行，大颗粒碎块不掉落就行。

发表于 2009-4-29 22:27:34

对气流还是会有影响的

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