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多晶硅生产中还原车间紧急停车的两种方案

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发表于 2009-11-27 13:51:11 | 显示全部楼层 |阅读模式
多晶硅生产中还原车间紧急停车分两种情况:
A、A 停氢
1 还原炉和氢化炉的窥视孔的视镜破裂
2 炉体上法兰盘发生泄漏
3 冷却水进入炉体
4炉体冷却水和电极冷却水突然没有流量
5 某台设备的DCS发生故障
6 拉弧,物料发生外漏
7 全厂停电
8 CDI故障不能提供H2

此情况停车操作过程:
断电→断SiHCl3和H2→关闭到CDI的阀门→开VG1→开N2置换

B 需要停氢
1 硅棒倒棒
2 炉体冷却水和电极冷却水的温度很高,但又不能及时查找原因
3 拉弧,物料无外漏
4 SiHCl3供料不足

此情况停车操作过程:
断电→断SiHCl3→降低H2流量,使硅棒温度降到500℃→关闭到CDI的阀门→开VG1阀门→断H2-→开N2置换
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 楼主| 发表于 2009-11-27 13:54:05 | 显示全部楼层
大化工的各位前辈,大家好!
晚生刚到此宝地,还望前辈们指点,提拔,共同分享,一起进步!
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