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有那位高手指点一下

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发表于 2009-11-10 09:48:35 | 显示全部楼层 |阅读模式
本帖最后由 功夫98748 于 2009-11-10 10:40 编辑
那位大侠指点一下,还原炉开出的产品,是料不纯还是氢气有杂质。谢谢哦
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发表于 2009-11-10 10:27:48 | 显示全部楼层
你之前的吹扫没有做好,导致里面的水汽比较的大,会和硅烷进行反应,产生的物质就是黄色的。
还有一种可能是你的炉底盘漏水了。
另外的可能是在你停炉之后有硅烷液体积在炉底,在你开炉的时候就和空气反应了。你应该可以闻到很浓的气味的。
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 楼主| 发表于 2009-11-10 10:53:00 | 显示全部楼层
谢谢,不是黄色的是蓝色的,什么原因。请指点谢谢
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发表于 2009-11-10 12:38:22 | 显示全部楼层
本帖最后由 南希 于 2009-11-10 12:40 编辑
蓝色的可能是氮化啦,是不是氮气置换不干净。另外你们硅芯表面的杂质可能是管道置换不干净,开始的时候应该像绒毛一样的东西吧?
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发表于 2009-12-9 17:04:32 | 显示全部楼层
惨不忍睹啊......! 你那系统清洗干净没?吹露点了没有?反应物料纯度怎么样? 棒子表面看上去怎么有点像硫化物?
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发表于 2009-12-23 20:18:52 | 显示全部楼层
感觉像微量水汽进入
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发表于 2009-12-24 08:24:40 | 显示全部楼层
取样去做一下分析 看是氮化物还是硫化物
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发表于 2009-12-24 10:59:50 | 显示全部楼层
露点没吹好,LZ怎么停炉的?
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发表于 2009-12-24 11:01:10 | 显示全部楼层
黄色的也是硅,不正常停炉造成的
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发表于 2009-12-24 14:31:57 | 显示全部楼层
低温硅 ,我 见多了 黄色低温硅 蓝色的你去酸洗 腐蚀掉的就是氧化硅 腐蚀不掉就是氮化硅
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