四氯化硅还原成硅，炉内压力和温度是多少。

发表于 2009-12-29 10:55:38

四氯化硅还原成硅，炉内压力和温度是多少。此工艺国内有厂家在用和生产吗？

发表于 2009-12-29 12:43:24

请楼主说清楚那种方法的工艺条件

发表于 2009-12-29 13:37:34

还没听说过有，LZ用的是什么方法？转化率有多少

发表于 2009-12-30 17:50:02

我听说永祥在用这个工艺。

发表于 2009-12-31 08:53:20

有在生产的，不过都是小线

发表于 2009-12-31 09:13:56

四氯化硅混在三氯氢硅里做多晶硅，条件很难控制，温度高一点，硅就软化了，温度低一点，就没沉积速率了，甚至可能出现腐蚀的逆反应

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