HCL和硅粉反应的副产物是什么了，含量多少？

发表于 2010-1-15 10:46:36 | 显示全部楼层

本帖最后由 lixiaolong602 于 2010-1-15 17:42 编辑
三氯氢硅：80
四氯化硅：19%
其他（杂质）：1%
DCS
AlCl3
聚氯硅烷
以上都是质量含量

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