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还原炉硅棒温度上下不一样,是什么原因?

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发表于 2010-8-10 11:03:35 | 显示全部楼层
应该是很正常的啊
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 楼主| 发表于 2010-8-10 12:02:09 | 显示全部楼层
谢谢楼上各位,目前我们正在调整喷气嘴的尺寸
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发表于 2010-8-10 16:53:42 | 显示全部楼层
混合气从底盘即硅棒底部进入,从下向上流动,进气的混合气温度比较低,导致下部的硅棒温度偏低,气流向上的过程中,混合气被预热到1000度,所以上部温度高。
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 楼主| 发表于 2010-8-12 16:04:13 | 显示全部楼层
回复 13# 人有傲气
    但我们的情况跟你说的正好相反,是下部温度高,上部温度低
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发表于 2010-8-15 14:53:26 | 显示全部楼层
回复 1# tdd
    这是肯定的,因为混合气是从下部进人还原炉的,而冷却水也是从下部进入夹套的,冷却水和混合气都要比多晶硅表面温度低很多,
下部的多晶硅棒要向混合气和冷却水辐射更多的热量,所以下部的硅棒温度会比上部的低!
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发表于 2010-8-15 15:00:09 | 显示全部楼层
回复 1# tdd
    不好意思,刚才看错了,
你们肯定是加压还原,因为提量后混合气的流速比之前的快了很多,这样就会造成混合气的气场分布发生变化,可以想象,更快速的混合气会喷射的更远,
从喷嘴流出后会在更远的地方发散,所以就会出现硅棒上部温度低于下部。
个人意见,仅供参考!
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