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有没有讨论下影响硅棒表面菜花的解决办法

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发表于 2010-9-26 15:33:55 | 显示全部楼层 |阅读模式
多晶硅沉积速度太快时,硅棒表面容易生长为菜花状,缝隙深度较大时,给后续的清洗工作带来困难,大家讨论下解决办法,有加喷嘴的,加了后是否会带来其他的不好的效果
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