多晶硅生产中，氮气的要求是怎么样的

含水量，含氧量，含CO量均小于10ppm。

含水量，含氧量，含CO量均小于10ppm。

氮气纯度大于99.9%，水含量小于0.03%

氮气基本就是吹扫和置换作用，另外在硅粉干燥的时候会用到，没有别的太大的用处。
风之铃音 发表于 2010-10-2 10:50

                                
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    在多晶工艺系统中氮气的作用太大了，它分布的最广、用量最大，无论是开车先期的吹扫、置换，还是生产过程中的硅粉干燥、塔器保压、物料倒槽、三废处理伴送气，以及险情处理等都离不开氮气。我的要求是系统内氮气要方便随处、随时能拿来用。