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多晶硅分析方法和分析设备(合并帖)

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发表于 2008-8-15 15:07:14 | 显示全部楼层
基于SiHCL3在含有KI的盐酸溶液中水解时,其中卤素砷化物转为砷酸和亚砷酸,经KI还原使其完全成为亚砷酸,然后通入KBH4溶液(在N2气流保护和搅拌下),使砷化物转化为ASH3导入火焰加热的石英管原子化器中,以原子吸收分光光度计测定之。
此法可在同一聚乙烯瓶中进行SiHCL3的水解和氢化物发生法测定。操作简便、快速、试剂用量少,显著地减少了沾污的可能性。方法的检测限达0.7~1.5 x 10-7%,可测下限达2  10-7%。
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发表于 2008-8-17 11:39:17 | 显示全部楼层
多晶质量检验
抽样范围:生产中沉积的多晶硅
被测性能:外观及断面检查型号、电阻率、氧、碳含量,重金属杂质含量
1〕:基磷电阻率和寿命:取300毫米长的多晶棒段H2气氛下区熔一次检测
次数:¢≤40毫米硅棒:全检回收料不定期抽样
检验仪器:区熔炉,回探针电阻率测试仪,小数载流子寿命测试仪
2〕基硼电阻率:从试验棒上取¢150×200 毫米,磷硼检验炉
        次数:批量的20%        
        检验仪器:        区熔炉,回探针电阻率测试仪,
3〕氧、碳含量—从多晶硅棒上取片检测
次数:按要求抽查
检验仪器:室温红外分光光度计
4〕重金属杂质:硅芯表面金属杂质的含量,电感耦合等离子体质谱仪
        次数:每年不小于45次
5〕断面腐蚀:肉眼检测几何形状和表面状况
        次数:100%
〈二〉工艺技术规范
        1:主要原辅材料
        1〕纯SIHCL3::Fe≤ 10ppb  B≤  0.03ppb  p ≤ 0.1ppb   Al≤  10ppb
        纯H2:露点  ≤ -50℃    O2≤  5ppm
        2〕硅芯:直径¢7-8mm
有效长度:2.800米
N型:电阻率50~250欧姆
弯曲度:≤3/1000
3〕:N2气:含N2 ≥ 99.99%,氧 ≤5PPm
        露点:≤-50℃
4〕:纯水:电阻率 10≥欧姆 , Al≤ 4ppm   Cu≤ 0.8ppb  Ca≤ 4ppb   B≤ 0.3ppb
        P≤ 0.5ppb
5〕石墨:光谱纯,调密质,内部结构均匀,无空洞,灰分≤ 0.01%,比电阻≤20欧姆
        抗压强度≥900kg/cm2,假比重≥1.8g/Cm3
        硬度45-80Kg/Cm2,加工成型后,经水浸泡,纯水煮至中性,干燥,高温煅烧后备用
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发表于 2008-10-16 13:16:08 | 显示全部楼层
个人意见:
ICP-OES:电感耦合等离子体发射光谱仪
ICP-MS :电感耦合等离子体发射质谱仪
GC-MS :电感耦合等离子体发射质谱仪-气相色谱联用分析
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发表于 2008-10-17 13:54:41 | 显示全部楼层
在多晶硅生产中,为控制产品质量,需要进行很多的分析!
在此向各位大虾些请教!
1.高纯氢的分析---包括:痕量 氮气   氧气  总碳   水分等
2.多晶硅尾气: 氯化氢   氯硅烷等分析
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发表于 2008-10-17 21:44:06 | 显示全部楼层
H2论坛里有标准。。https://bbs.hcbbs.com/thread-251709-1-1.html
多晶硅尾气等待高手。。
[ 本帖最后由 rogerluojie 于 2008-10-17 21:45 编辑 ]
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发表于 2008-11-4 14:58:38 | 显示全部楼层
大家好!  希望大家能讨论下多晶硅在线分析比较实验室的好处,怎么样在线分析,检测哪个点的哪个气体参数比较重要。希望各位前辈不吝赐教啊!
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发表于 2008-12-18 13:25:58 | 显示全部楼层
我们是做TELEDYNE 在线分析仪表的,多晶硅中分析测点如下:
PSA制高纯氢中测量点:
痕量氮  0-5PPM TELEDYNE 2120
痕量氧0-3PPM   TELEDYNE 3020T
总碳    0-5PPM   TELEDYNE 4020 吹扫防暴
水份    0-1000PPM  TELEDYNE  5020
SIH4   0-1%或0-30%  TELEDYNE  7320
HCL      量程请告知 用TELEDYNE   6000系列
如果还有什么需要 可以联系我15921149551
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发表于 2008-12-27 20:27:34 | 显示全部楼层
还原尾气中C.N含量,以及三氯氢硅和四氯化硅含量,置换后氢气中碳和氧的含量,大致就分析这么多
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发表于 2008-12-29 18:05:42 | 显示全部楼层
如提,西门子改良法生产多晶硅有那些分析仪表?分析仪表使用的多少和多晶硅的纯度应该有很密切的关系
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发表于 2009-2-13 12:14:49 | 显示全部楼层
你们的这个问题 很是外行哟。 通常你们应该问题是先确定是在线分析还是离线分析。
在线分析通常有PH 、电导、溶解氧、 水分、也可以用色谱和酸浓度(这两个成本高技术难度大)。
离线分析就多了除了在线的还有很多有机、无机分析的和物理分析的,以及为这些分析服务的配套总计应该在600-1000项的采购量(根据工艺要求和工厂配置来确定)。
哈哈 是不是很多呀!
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