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多晶硅清洗可否用别的物质代替硝酸?

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发表于 2011-7-12 10:04:00 | 显示全部楼层
目前只能采用氢氟酸+硝酸的清洗方法。二氧化氮气体可以通过淋洗塔来吸收,避免污染环境。
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 楼主| 发表于 2011-7-14 10:45:33 | 显示全部楼层
KF可以吗   有没有厂家不是HD+HNO3的
jkkmhd 发表于 2011-7-14 10:45

                                
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    KF应该不可以,HD?应该是HF吧?
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