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多晶硅裂棒问题

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发表于 2011-7-21 18:46:31 | 显示全部楼层
之所以出现温度差,是因为整个生长过程中硅棒的温度和进料量没有匹配好,重在生长过程中的控制。另外前期硅芯的安装也很重要。原因多了去了
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发表于 2011-7-21 21:47:40 | 显示全部楼层
降低配比 才是硬道理。 夹角亮,而外缘暗,明显的温度不均。既是料量分布流速不均,导致硅棒表面的气体边界分布不均。温高则高,温低则更低。裂棒在所难免、
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