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多晶硅还原炉视镜模糊的问题

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发表于 2009-2-28 09:23:40 | 显示全部楼层
听说主要是氢气和三氯氢硅的比例问题
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发表于 2009-2-28 15:11:30 | 显示全部楼层
有硅油了吧?
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发表于 2009-3-13 16:34:37 | 显示全部楼层
还原反应炉窥视孔会模糊,产生类似白色物质,但不是硅油,请问高手们,该如何防止这一现象那?是水温低还是窥视孔氢气量小的缘故?
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发表于 2009-3-24 15:12:04 | 显示全部楼层
其实应该是硅油,如果在运行过程中发现有油状的物质在视镜上,过段时间就变模糊了,
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发表于 2009-3-26 14:28:34 | 显示全部楼层
其它的原因我不是很肯定,但配比时三氯氢硅含量高的时候会发生视镜发黑的现象。而且含量越高,黑的越快,这个时侯的配比是不合适的!
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发表于 2009-3-26 17:29:38 | 显示全部楼层
视孔氢开大些,可以阻止硅油趁机在镜片上
氢气和三氯氢硅的配比要拉大一些
一般看到视孔镜片雾化了要及时对还原炉气量作出调整,不然还有可能导致炉内雾化
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发表于 2009-3-27 20:03:26 | 显示全部楼层
视镜模糊了,1是视镜冷却水温度太低了;
2是视孔氢气量太小没有把混合气体吹走,
3是视孔氢气压力稍低,
4.是还原炉内整体温度也低了,
配比的影响就不清楚了。
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发表于 2009-3-28 16:19:17 | 显示全部楼层
有硅油,或者是沉积的无定型硅粉。覆盖在视镜上,就模糊了。
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发表于 2009-3-30 12:19:08 | 显示全部楼层
一楼的图片是德国炉子,双层镜片,中间水冷,这种结构容易过冷,内层镜片的靠炉内一侧,容易有硅油冷凝出来
出现沉积硅膜的多是单层镜片,只能水冷到镜筒,镜片温度高,发生了多晶硅的沉积或是发生低温反应,沉积了一层无定形硅粉。
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发表于 2009-3-30 20:17:04 | 显示全部楼层
你可做下实验把氢气比例调小些你可观察到炉内肯定模糊不清!
氢气和三氯氢硅比例有问题,可将氢气比例提高些!
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