还原炉尾气及CDI处理后氢气中的磷、硼等微量杂质的检测

发表于 2009-3-4 13:49:37

CVD尾气回收过程中，从提纯出来的氢气产品纯度是如何分析测定的，请教各位侠？

发表于 2009-3-7 23:23:06

以在线的方式来测量不管是GC还是MS效果都不会很好，而且费用也太高，最主要是你们有这样高水平的维护人员吗？和谐社会所说的外标法你自己细想想;那样可行吗？会准确吗？

发表于 2009-3-10 16:11:20

回收氢气纯度可以用色谱进行分析CO,CO2等，O2用电化学，H20可用teledyne或者GE的，N2检测这个点由于要考虑防爆，现在我知道的发射发光法都没有防爆认证。
[ 本帖最后由 LHY8771 于 2009-3-20 17:03 编辑 ]

发表于 2009-3-20 14:43:29

尾气回收氢气组分比较复杂，一般采用在线气相色谱，厂家对BCl3、PCl3也处于探索阶段，期待大家共同探讨 ^_^

发表于 2009-3-23 12:09:18

检测不出来哦，你们哪的，还要检测回收氢？

发表于 2009-3-25 22:26:05

在线检测一般是分析不出来的，因为多晶硅尾气的波动性很大，而且硼磷含量低，还没有那么高的精度在线检测仪器；一般是定期取样后由化验室或指定检测部门进行检测，有质谱和色谱检测方式。

发表于 2009-4-2 14:24:12

普遍都是用气相色谱检测气体，在线分析相当不准。而B、p在气相中没有什么好办法分析。

发表于 2009-4-5 10:28:41

液相中一般质谱分析就可以了，我们这在回收氢气中还无法分析B,P含量。
其实只要在原料提纯中控制好就可以了，毕竟原料是杂质的来源么
过程监控主要考虑突发事故，比如含碳量、氮的变化。

发表于 2009-4-5 16:28:41

用气相质普仪检测的精度比用ICP搞多了

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