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大化工论坛»大化工论坛 › 专业技术分类 › 多晶硅新能源 › 硅棒生长后期产生蓝色的原因

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硅棒生长后期产生蓝色的原因

发表于 2011-11-7 11:12:12 | 显示全部楼层

蓝色的应该是氮化硅，注意检查氮气是否内漏到炉桶里了

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发表于 2011-11-7 11:13:11 | 显示全部楼层

另外还看到了有彩色的东西，可能是形成了氧化硅，建议检查一下氢气露点

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发表于 2011-11-7 19:46:16 | 显示全部楼层

请问楼主这是不是调试时生产出来的硅棒？

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发表于 2011-11-8 15:49:17 | 显示全部楼层

那是氧化硅在高温下的衍生物，应该要好好控制氮气含水。

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