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[话题讨论] 多晶硅的纯化要求

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发表于 2009-4-27 09:53:49 | 显示全部楼层 |阅读模式
麻烦各位高手,我想请问制氮机在多晶硅上的用途是什么啊?如果是要后期纯化,对氢气的含量有要求吗?
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 楼主| 发表于 2009-4-27 13:38:36 | 显示全部楼层
怎么没有人帮忙啊?晕~~
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发表于 2009-4-27 13:53:57 | 显示全部楼层
氮气在多晶硅生产过程中的用量非常大,主要用于充氮保护、氮封。根据工艺的不同其纯度要求也不一样,但有个共同点就是必须要干燥,多晶硅中氮气主要用于打压检漏装置,开车时管道置换,炉内进氢气或其他气体时排除空气,封压,等以及安全事故的处理.
多晶硅的纯化见下面
https://bbs.hcbbs.com/viewthread.php?tid=436225&page=1#pid2347800
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 楼主| 发表于 2009-4-28 09:59:30 | 显示全部楼层
谢谢3楼的  太感谢了
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发表于 2009-5-21 15:46:14 | 显示全部楼层
本帖最后由 chc1125 于 2009-5-22 10:39 编辑
氮气要求很高的  无油 露点要求一般都-60了 主要是用于物料输送 保护 吹扫用
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