zw1902 发表于 2008-10-27 12:26:49

多晶硅与单晶硅的扩散比较

　相同工艺下多晶硅和单晶硅的扩散结果区别非常明显,在扩散温度较低时,多晶硅扩散后的
方块电阻大于相同条件下的扩散单晶硅;在扩散温度较高时,多晶硅扩散后的方块电阻小于单晶硅,文
章从多晶硅的结构特点对此现象进行了解释。
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