变压吸附吸收多晶硅生产尾气的一些操作，原理等资料

yuxingwhy 发表于 2008-12-7 18:48:29

有哪位大哥有变压吸附吸收多晶硅生产尾气的一些操作，原理等资料谢谢啊
[ 本帖最后由 LHY8771 于 2009-1-12 17:28 编辑 ]

海云飞 发表于 2008-12-8 08:50:08

参考煤制氢TSA或PSA吸附！

156779973 发表于 2008-12-8 09:12:56

就一个PTSA有什么高深的，随便参考下就知道了！@

jinjinjin 发表于 2008-12-8 10:43:21

多晶硅尾气主要组分是什么啊？
[ 本帖最后由 chc1125 于 2008-12-8 16:23 编辑 ]

wmliu 发表于 2008-12-9 15:34:42

多晶硅尾气主要组分是氯硅烷

victory83728 发表于 2008-12-9 15:45:44

讲讲多晶硅吧，近几年这么火，成达做的都很好了。比如组成，用途，价格等参数

beney 发表于 2008-12-9 15:58:42

确切的说
从多晶硅还原炉出来的尾气主要是：
四氯化硅
三氯氢硅
少量二氯氢硅
氯化氢
这些组分大部分闭合自循环使用了。
外排的非常少

zsyd1980 发表于 2009-3-7 23:10:56

尾气中H2的含量也是比较大的，可不能忽视

zjiris 发表于 2009-3-7 23:20:12

变压吸附主要是进一步纯化还原尾气中分离出来的氢气，让其含有的少量氯硅烷、氯化氢进一步脱除，以达到工艺指标

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