2008nihao 发表于 2009-3-22 15:18:43

还原炉模拟

大家有没有对还原炉进行模拟的？
现在存在哪些技术难题？
刚开始这方面的研究，不知道怎么下手。请赐教！！！

recaff 发表于 2009-3-22 17:25:48

https://bbs.hcbbs.com/viewthread.php?tid=101246
看看这个，汲取些思路。
关注这个主题，本人觉得模拟太复杂，要从流体力学和气固相沉积等方面考虑。
但是苦于现在还没一些数据，而且生长周期不确定，数据缺陷很多，从理论建摸到试验建摸都有很大的难题要解决。

LHY8771 发表于 2009-3-23 09:02:30

可供参考：
https://bbs.hcbbs.com/viewthread.php?tid=326320&highlight=polysim
多晶硅生长模拟软件Polysim谁用过，效果如何？
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