还原炉变压生产多晶硅
钟罩式还原炉生产多晶硅变压生产有什么好处吗
原理呢
就是刚启炉时低压
然后再逐渐提压
从物料方面，生产速率方面·····
[ 本帖最后由 LHY8771 于 2009-4-17 08:31 编辑 ]
好处很明显：可以提高混合气进气量，缩短生产周期，提高多晶硅的产量。
但是问题又有了：硅棒上端，特别是内圈的硅棒上端出现的“玉米状”也厉害。同时也增加了生产的危险性。 能不能说的详细点呀
为什么缩短生产周期
为什么提高多晶硅的产量
为什么会长“玉米状”
为什么增加了生产的危险性
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