还原炉内壁有淡黄色物质
请高手指教,还原炉内壁为何会有淡黄色物质?如何形成的?如何清洗?几种物质混合在一起的,也说不清楚其主要成分,但是易燃易爆
还原炉内各部位的温度不同,所以发生的反应也不一样
用纯水清洗,再吹干
下面有一些关于这方面的讨论
https://bbs.hcbbs.com/thread-395192-1-1.html 具体是什么不太清楚,不过应该是多种混合物,并且易燃
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硅卤化合物,易燃易爆,不能敲击,最好用百分之三十的碱液清洗 少量时不需要清洗,可以阻止钟罩杂质向炉内扩散,提高硅棒质量;大量存在时,才需要清洗 有黄色物质产生应检查一下还原炉有没有漏点或者对黄色物质做分析,确定是什么
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