wulffor 发表于 2009-5-6 23:34:23

硅棒疏松

什么样的工艺条件会使得硅棒长的疏松

谁的过错 发表于 2009-5-7 11:20:19

a.还原炉内部温差；b.进气量的大小及时间

SiliconSky 发表于 2009-5-7 13:10:06

主要是温度过高
温度很重要也很难控制

wulffor 发表于 2009-5-8 09:03:11

大家不要给这种比较模糊的答案
能不能深入点
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