daniao59 发表于 2009-5-4 11:49:16

STC和TCS的一次转化率

在还原工序的沉积反应中，三氯氢硅发生反应的量占总量的多少，其中主反应生成硅所消耗的三氯氢硅占总量的多少，占反应量的多少？那位大侠知道啊？
如果涉及保密，给个大概值也行啊。

升级 发表于 2009-5-6 11:07:39

转化率布高得只有tcs20%

wangshaojin 发表于 2009-5-6 14:03:07

不高，一般到了18%就很不错了

爱在深秋1 发表于 2009-5-6 15:15:08

瞎说，一般还原转化率也就15%

daniao59 发表于 2009-5-9 09:11:24

大家所说的15%或18%是指还原反应中反应掉的TCS吗还是主反应消耗的？
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