三氯氢硅精馏中如何最大限度的除硼,请发表意见
在三氯氢硅精馏中,精馏塔就两个,如何能最大限度的出去硼呢,精馏塔就两级。三氯氢硅中除硼问题
目前多晶硅厂家对三氯氢硅厂家中的硼含量控制很严,大部分厂家都要求在50-100PPb级别,但是三氯氢硅厂家基本都是一个精馏塔,新上的也只是增加了一个除轻杂质的精馏塔,可是目前来看效果也不是很理想。含硼至少在400ppm,这个除硼磷的过程主要应该是在精馏过程中,用氮气加湿器,主要是在精馏塔中水汽和三氯氢硅经过一系列的反应生成络合物,络合物沸点高,从而使之在精馏塔中得到有效的分离~~~
具体反应是:BCL3+H2O=HOBCL2+HCL
SIHCL3+H2O=HOSICL3+H2
HOBCL2+HOSICL=CL2B-OSICL3+H2O 失水
SIHCL3+3H2O=SIO2-H2O+H2+3HCL
生成的二氧化硅是极为微细的粉末状固体颗粒,吸附硼磷化合物成络合物。 二楼的朋友能够介绍的更详细点吗?能帮忙gstw95@sohu.com最好 在精馏工序的工艺设计中就应专门设计除去低沸点物质的工艺 二楼的朋友。如果在精馏塔中加入水汽,那么三氯氢硅就会水解成二氧化硅,大家都知道二氧化硅喂超细物,如果二氧化硅在精馏塔中架桥怎么办?还有就是水先就会和三氯氢硅反应,那么怎么能达到除硼的效果? 二楼的朋友能够详细介绍一下吗?
谢谢了 树脂可以吸附 二楼的朋友,可以详细的说一下吗?
请问是设想还是已经开始在用? 除轻组份主要在第一个塔
控制好冷凝液的出口的温度 二楼的朋友。如果在精馏塔中加入水汽,那么三氯氢硅就会水解成二氧化硅,大家都知道二氧化硅喂超细物,如果二氧化硅在精馏塔中架桥怎么办?还有就是水先就会和三氯氢硅反应,那么怎么能达到除硼的效果?
wqing123456 发表于 2009-6-19 16:39
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水会先和氯化硼以及氯化磷反应,这两种组分的水解比三氯氢硅优先发生
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