多晶硅的生产过程中还要用到“质量流量计”吗？

gaohan 发表于 2009-1-16 11:59:55

各位老大，请问多晶硅的生产过程中还要用到“质量流量计”吗？不知用在什么环节？谢谢！！

tao8686886008 发表于 2009-1-16 21:38:54

多晶硅生产要用质量流量计的，我们就用科里奥利式质量流量计和热式质量计。主要用在TCS和氢气的流量的控制中。

5izw 发表于 2009-1-17 11:30:50

现有装置都有用质量流量计的，但从使用效果来说一般般，还不如体积来的准确，控制方面也不如体积流量计。

jlchina 发表于 2009-1-17 12:13:40

质量流量计多数用在计量方面的多.
一般控制没有必要采用--主要是价格方面的原因

XNHHSDGM 发表于 2009-1-17 13:19:26

质量流量计价格太高了，效果也不是很理想，能不用尽量不要用。

liliangliang 发表于 2009-1-17 14:39:21

多晶硅生产中用的都是质量流量计。
质量流量计可以自动校正压力和温度，方便操作，便于控制。

weixiong1199 发表于 2009-1-20 09:01:24

我们这里也用很多的质量流量计

斑点猫 发表于 2009-1-20 09:22:52

流化床和固定床应该对流量计有不同的要求吧!
希望了解不同流量计的型号和参数!
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候鸟飞过 发表于 2009-1-20 21:42:15

原帖由 5izw 于 2009-1-17 11:30 发表

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现有装置都有用质量流量计的，但从使用效果来说一般般，还不如体积来的准确，控制方面也不如体积流量计。
怎么可能！能具体说一下吗？
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251969824 发表于 2009-1-22 00:15:46

其实是哪种流量计都不太好使，不仅仅是质量流量计
容易卡住

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