小君无邪 发表于 2009-7-15 19:13:26

怎样降低还原炉三氯氢硅和电的消耗...

现在多晶硅市场不好.大家都在想办法降低还原炉三氯氢硅和电的消耗.请问各位大虾有什么好的建议？在此先谢谢哈

Minos 发表于 2009-7-16 08:51:25

我们也一直在试验，想要寻找兼顾经济性和质量两方面的最优操作点.........可还没什么结果，各台炉子各条生产线都有差异

zjiris 发表于 2009-7-16 15:17:06

这个需要对还原炉进气配比、各喷嘴进气量、进气加量及电流加量等参数进行不断摸索，找到其最佳工艺点
由于国内基本都是新上装置，人员也是新手，要达到最优还需要一段路要走的

ZQTV99 发表于 2009-8-9 18:29:51

我们正在努力探索~

legend9205 发表于 2009-8-9 19:43:54

这个话题比较好，大家踊跃发言啊。我是觉得多晶硅还原生产优化是一项非常巨大且费神的工程，做了好多实验，摸索了很多方法，不怎么见效，电耗降下来了，可是TCS消耗却上去了，长的太快，表面又不平整，难。

Minos 发表于 2009-8-9 22:09:37

我们的试验炉貌似已经有一些初步结果了...........但是还有很长的路要走.....

happyfatboys 发表于 2009-8-10 13:48:15

数据分析做了没？ 还原电耗控制在多少？ 生长周期呢？ 生长周期短，你的电耗就相对低。
如果想深入探讨，就给我E-mail吧。

小君无邪 发表于 2009-8-10 17:45:30

谢谢.我的邮箱.zang721225@yahoo.cn

eaglet1984 发表于 2009-8-10 18:21:40

电耗降下来了，可是TCS消耗却上去了
唔，还有这个现象，能具体说下吗？

Minos 发表于 2009-8-10 23:01:41

电耗降下来了，可是TCS消耗却上去了
唔，还有这个现象，能具体说下吗？
eaglet1984 发表于 2009-8-10 18:21

                              
登录/注册后可看大图
以提高进料流率换取较低的单位质量电耗，其结果必然是TCS消耗变大
页: [1] 2
查看完整版本: 怎样降低还原炉三氯氢硅和电的消耗...