硅芯晃动
高压启动完毕到进料很长一段时间,硅芯都在不停的晃动,请高手分析下原因进气量过大,炉内气体的湍流太激烈 在氮气环境下高压启动后,用氢气置换氮气可能流量大了。 1.石墨有问题,没有很好的接触(石墨-电极,石墨-籽晶棒)
2.进气量太大。
3.进气气孔的喷射角有问题 也有可能是电流没有跟上的, 晃动很正常。原因主要是在高压击穿过程中产生的力,通氢气的时候慢一点就行,没有问题的。如果质量差的话极可能会倒。 气孔角度。和摆放是否良好? 我们的硅芯也是一直晃动,长几天就会自己好的,这主要和硅芯的接触。电流的波动,气流的波动都有直接的关系 几位前辈请问为什么晃动会与电流波动有关呢? 难道是因为电流波动的时候硅棒内部温度不均衡,局部热应力造成晃动????这个热应力好像不该有这么大吧...
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