多晶硅的主体设备是什么
如题,我想问问多晶硅的主体设备有那些?因为我是个真正的小白,还望大虾们告诉下!比如,多晶硅拉伸用什么设备,提纯是用什么,现在用得最多的改良西门子法的三氯化硅的转化,或者氢气回收利用是什么设备。越详尽当然越好。谢谢如果你认真的阅读了论坛的帖子,相信你就可以得到你需要的了
付出后得到的回报才是最好的 现在国内上马的多晶硅项目主要采用西门子改良法,还原炉和氢压机是其中最大的主工艺设备... 精馏用的塔器是主要设备~ 1.还原炉
2.氢压机(尾气,和TCS制备)
3.FBR
4.冷冻设备
5.精馏塔、碳塔
6.换热器
7.旋风分离器
8。袋式除尘器
9.各类泵
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