duojingsi 发表于 2009-8-23 21:27
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嗯?你们难道直接根据测温仪的结果自动控制??? 好像是氢气中含氧和含水量超标,也有这方面的原因吧 大家发表的意见都很好,个人认为氧化层跟这个硅芯圈无关,如果采用真空拉制基本可排除此项可能性,还是Minos说的比较好,温度的影响是很大的因素。同样跟炉子本身的制造精密度有一定的关系,楼主用的是哪里的炉子,西安理工的? 我们请的专家做多晶硅几十年了 他能看出温度我们还用一个光学测温仪 15# duojingsi 我的工人就是用测温仪 15# duojingsi我的工人就是用测温仪
16981565 发表于 2009-8-24 21:01
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那你们每次停炉后启炉前都要做校正? 红外温度计,每次开炉都要校正的,要选择某一处温度最高的作为参考。 硅芯圈有两种可能,一种温度夹层,一种氧化夹层,氧化夹层要比温度夹层更严重一些,楼主说的是温度夹层吧,它是由于温度变化不均引起的,一般温度差30度就会出现温度夹层,经常发生在接班时,电流增加的快慢不同造成 你们怎么不装红外测温仪呢,我们电流都是电脑自动加的。
duojingsi 发表于 2009-8-23 21:27
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你们实现了电流与红外测温仪的闭环?这么相信红外测温仪?
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