多晶硅生产过程中的硅芯圈问题

fengjunqiang 发表于 2009-8-12 21:03:59

多晶硅生产过程中的硅芯圈产生的原因有那些，各位楼主请发言！
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Minos 发表于 2009-8-12 21:44:26

说的是疏松层？
主要是因为温度不稳定，一段时间内温度过低造成

小君无邪 发表于 2009-8-14 15:56:51

你说的是温度夹层和氧化夹层吧.主要是温度波动太大和置换不彻底的缘故

chwell2004 发表于 2009-8-14 17:44:40

就是所谓的夹层吧，主要是温度没控制好，生长不均匀所致吧

fengjunqiang 发表于 2009-8-14 18:37:42

感谢各位的指导，问题是我们目前的生产方式是靠眼睛观察温度及控制进料时的电流，流量基本上加的比较缓慢，不知道温度怎么控制好，流量该怎么加，电流怎么升，请各位楼主赐教

fengjunqiang 发表于 2009-8-14 18:39:02

会不会是炉子内表面有低温硅影响炉内温度？

Minos 发表于 2009-8-14 23:46:03

这个只能靠经验，多生产多积累经验，现在都是靠经验来调整电流，这些经验都是各厂的高度核心机密的，不会有人告诉你的，就算对自己人都需要保密，呵呵
我们这边现在也还没有完全有效地消除硅芯圈.......经常由于这个被退货....

miaofeng120 发表于 2009-8-15 19:06:11

硅芯圈应该大多是氧化夹层吧
氢气起炉要好些

Minos 发表于 2009-8-16 00:29:56

硅芯圈应该大多是氧化夹层吧
氢气起炉要好些
miaofeng120 发表于 2009-8-15 19:06

登录/注册后可看大图
置换和原料提纯没问题，管道也没有泄露的话，是不可能出现氧化层的，硅芯圈绝大多数情况都是非晶造成的

学海狗刨 发表于 2009-8-15 19:06:00

你所说的硅芯圈是无定形硅夹层吧？这是当还原反应在温度比较低的情况下进行时沉积的硅，在这种无定形硅上提高反应温度继续沉积时就形成了无定形硅夹层（暗褐色，无法酸洗）？

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