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伊甸园
发表于 2009-9-18 12:05:07
多晶硅还原过程一次性反应率和沉积速度的曲线
求多晶硅还原过程一次性反应率和沉积速度随mole比的曲线
yuehan
发表于 2009-9-20 11:35:50
这要花钱买的!各个还原炉制造厂家提供的曲线是不一样的,离开具体的设备来看一次转化率和这条曲线是没有意义的!
南希
发表于 2009-9-20 17:08:42
自己慢慢调试择优啊,这东西确实是对着脚买鞋。
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多晶硅还原过程一次性反应率和沉积速度的曲线