luyanqilei 发表于 2009-9-18 10:23:28

还原炉产生不定型硅及解决办法

还原炉产生不定型硅及解决办法

luyanqilei 发表于 2009-9-18 10:24:45

最近我们的还原炉老是严重产生不定型硅,请问高手们这个如何能解决

伊甸园 发表于 2009-9-18 11:29:33

提高冷却水的温度

eaglet1984 发表于 2009-9-18 11:45:01

原因:由于还原炉内温度过低发生热分解反应了
措施:减小冷却水量

听风惊梦 发表于 2009-9-21 12:04:46

将炉内的温度提高一点

urga0952 发表于 2009-9-21 15:47:32

在炉内有TCS时,炉筒水温要高一些,炉内温度也要高些。
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