大化工论坛 › 多晶硅新能源 › 硅烷法多晶硅工艺

winer.LIU 发表于 2009-9-24 14:40:43

硅烷法多晶硅工艺

哪位大侠可以分享下硅烷法多晶硅生产工艺？
现在国内都有哪些设计院设计？

chwell2004 发表于 2009-9-24 17:34:33

国外也就有几家真正地用硅烷法，国内还有设计院设计？貌似前面有过两三个关于硅烷法的帖子，楼主可以去看看

hrdpeter 发表于 2009-9-25 17:29:26

简单说一下，涉及保密东西，不细说。TCS和H2在一定条件下，生成高纯硅，，尾气成分包括H2,HCL,STC,TCS等。经过分离，TCS在回到反应炉反应。H2也回收循环利用。STC加氢转化为TCS继续利用。。HCL吸收利用。

hrdpeter 发表于 2009-9-27 09:45:09

当然是硅烷法了，原料就是TCS，三氯硅烷嘛，江苏中能就全部是用TCS做的啊。不过，我们没它那么奢侈，我们TCS是自己先用硅粉氯化，得到TCS.直接用TCS原料容易受制于上游厂家。

hrdpeter 发表于 2009-9-27 09:53:19

楼主，我查了下资料，你说的硅烷法是不是指四氯硅烷啊？那个几乎没人用啊，生长速率低，一次转换效率低，能耗太高！！可能概念理解偏了，我说的硅烷指TCS。这下应该不会有疑问了吧。。。。

winer.LIU 发表于 2009-9-27 10:31:16

晕！！！
这是硅烷法？
狂笑！

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