yanfengshiye 发表于 2009-9-20 10:42:29

还原炉炉筒变黑 变黄

还原炉炉筒变黑变黄 是什么原因啊   还有那些黑色 和黄色的东西是什么

9769782 发表于 2009-9-20 12:18:38

黑的应该是硅粉或者无定形硅，黄的应该是氯硅烷水解物

南希 发表于 2009-9-20 17:07:21

黑色应该是无定形硅。

eaglet1984 发表于 2009-9-20 22:01:35

怎么会在炉筒上沉积呢？炉筒温度太高了？
黑色应该是无定形硅，是由于温度过低导致的~

听风惊梦 发表于 2009-9-21 11:55:37

黑的输无定型硅   黄的是硅粉黑的温度控制高一点就可以消除
可对于黄的我真不知道怎么样才能消除   那位大虾指点一下啊！
lizhaoby@163.com

bergkamp888 发表于 2009-9-27 12:24:18

黄的应该是聚合物吧，原因也是温度过低引起的。

jianyu243 发表于 2009-10-8 21:35:34

我的意见
黑的是无定形硅 可能是炉壁清洗不干净？
黄的是氯硅烷水解物 可能是底盘漏水吧？你确定是炉筒？

yanfengshiye 发表于 2009-10-9 18:16:15

我的意见
黑的是无定形硅 可能是炉壁清洗不干净？
黄的是氯硅烷水解物 可能是底盘漏水吧？你确定是炉筒？
jianyu243 发表于 2009-10-8 21:35

                              
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