硅棒发白的原因
在硅棒出炉后发现在横梁处有发白现象,是什么原因造成的呢横梁处怎么会
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有发白现象, 见过发黑的,没见过发白的
白色很可怕,你的置换气是不是有问题 会不会是你置换没置换干净,横梁上有残余的TCS,然后开炉氧化了. 发白的东西应该是二氧化硅,要么是置换气不合格,纯度不够其中含氧或水分;要么是置换时间短,还有残余的三氯氢硅开炉后被氧化、 发白的东西应该是二氧化硅学习了 进料太多,TCS和H2比例太大 进料太多,TCS和H2比例太大
南希 发表于 2009-7-21 17:07
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这个比例太大,会发白?为什么? 应该是SIO2.密封不严实、置换不彻底、反应气中含有水分等因素造成的
jiangjiagou 发表于 2009-9-5 11:46
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反应气中含有水分???这个设想有点夸张了把!露点检测是最基本的东西好不啊 不是带水,带水生产时炉子会出现雾状但肯定是被氧化应该是置换不合格??? 密封性不好???或者其他!
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