关于多晶硅生产流程中的吸附工艺
三氯氢硅的提纯主要靠精馏工艺，吸附法只能作为纯化的辅助手段。吸附法不是什么新工艺，在俄罗斯和美国提供的工艺包中在精馏后端均有吸附法除硼装置（Boron Removal）。吸附法在工艺上很简单，关键是吸附剂，国外各个厂家所使用的吸附剂配方各不相同，均为绝密，一般工艺包的提供方均有这方面的技术，但是要另外花钱购买的！我们购买了美国的吸附剂配方、吸附剂生产及再生工艺花了很多钱，只能单独交流！另外，美国市场上有吸附剂公开出售，大约4万美金/吨，但是吸附装置的设计很有讲究，设计得好，吸附剂可以用半年以上。设计不好，吸附剂使用一个月就报废了！http://blog.sina.com.cn/polysilicontech
本帖最后由 hht666 于 2010-9-28 10:52 编辑
这个问题很重要,一直搞不明白啊
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