多晶硅进料硅粉粒径的控制是多少
制造多晶硅的原料是工业硅粉,那么在改良西门子法中对于硅粉进料的粒径是有要求的,大家能说说这个粒径控制在什么的区间是合适的?为什么要在这个区间进行控制?请大家多多交流,从增大表面积以及表面活性等发面发表意见。一般的多晶硅加压合成控制在80-120目之间 为什么要控制在80-120目,有什么理由么 3# trifle 硅粉粒径太大不易反应,且反应不完全,太小被气流吹走。 呵呵,主要是根据你袋式过滤器来选型的
如果硅粉都跑到后续系统里,你想想会有什么后果
堵塞时一定的
另外就是考虑流化床反应 一般的多晶硅加压合成控制在80-120目之间
winer.LIU 发表于 2009-10-9 18:57
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那是多少微米? 目数 粒度um
5 3900
10 2000
16 1190
20 840
25 710
30 590
35 500
40 420
45 350
50 297
60 250
80 178
100 150
120 124
140 104
170 89
200 74
230 61
270 53
325 44
400 38
460 30
540 26
650 21
800 19
900 15
1100 13
1300 11
1600 10
1800 8
2000 6.5
2500 5.5
3000 5
3500 4.5
4000 3.4
5000 2.7
6000 2.5
7000 1.25 粒度对照表
Particle Size Conversion Chart
B.S.S
MESH A.S.T.M.
MESH TYLER
MESH I.S.S
MESH MICRON IN MM
英国标准筛 美国标准筛 泰勒标准筛 国际标准筛 微米对照 毫米对照
4 5 5 — 4000 4.00
6 7 7 280 2812 2.81
8 10 9 200 2057 2.05
10 12 10 170 1680 1.68
12 14 12 150 1405 1.40
14 16 14 120 1240 1.20
16 18 16 100 1003 1.00
18 20 20 85 850 0.85
22 25 24 70 710 0.71
30 35 32 50 500 0.50
36 40 35 40 420 0.42
44 45 42 35 355 0.35
52 50 48 30 300 0.30
60 60 60 25 250 0.25
72 70 65 20 210 0.21
85 80 80 18 180 0.18
100 100 100 15 150 0.15
120 120 115 12 125 0.12
150 140 150 10 105 0.10
170 170 170 9 90 0.09
200 200 200 8 75 0.075
240 230 250 6 63 0.063
300 270 270 5 53 0.053
350 325 325 4 45 0.045
400 400 400 — 37 0.037
500 500 500 — 25 0.025
625 625 625 — 20 0.020 一般还是80-120吧,主要还是考虑在反应炉内系统压力能把硅粉吹起来反应,以及反应速度的控制,目数大反应太快且容易带入后续系统
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