三氯氢硅合成工艺的工艺技术？
大家谁对三氯氢硅合成工艺比较了解，尤其是对硅粉加料了解比较多？[ 本帖最后由 bingyu252 于 2009-1-13 15:01 编辑 ]
三氯氢硅合成装置为筒形结构，上部筒体直径扩大部分是气固分离段，该段设有出料口，中部的直筒段是反应段，反应段外包加热器，加热器上方设有硅粉进料口，底部连接下封头，下封头上开有氯化氢进气口，下封头还开有排渣口，其筒体的反应段底部的氯化氢进气口上方设置气体分布板，气体分布板上分布有气孔，筒体内置有内换热套管，内换热套管与筒体外的热媒进管和热媒出管连通。 三氯氢硅情况简介
一、概况：
1、本品又称三氯硅烷或硅氯仿，分子式为SiHCl3，沸点31.8℃，常温时为无色或微黄色的透明可燃液体，易挥发，易水解，易溶于醇、醚、卤化烃，为有机溶剂。
2、本品提纯后主要用生产半导体级多晶硅和硅外延片等信息产业基础材料。但因带有氢键和含氯较多，常与其他有机官能团生成一系列的有机硅产品（如氯丙基三氯硅烷，乙烯基氯硅烷辛基氯硅烷等）。
3、由三氯氢硅生产的硅烷偶联剂具有硅化合物耐温，疏水，绝缘等特性，并能将无机分子和有机分子更好搭接，已在橡胶、塑料、涂料、纺织等行业，发挥了良好作用，目前国内年生产总量已近万吨，平均年增长在15%以上。
4、近年我国多晶硅年需量已近千吨，而自产还不到百吨，大量进口，故对三氯氢硅需求有很大发展空间。
5、由于半导体用硅的需求，我国在六十年代已掌握了三氯氢硅生产技术，生产出纯度很高的产品。近些年，硅烷偶联剂发展，工业用三氯氢硅的生产工艺也日渐完善，技术经济指标也大有提高，目前国内生产总能力已近年万吨。
二、生产规模及工艺。
1、生产1吨三氯氢硅将联产四氯化硅约0.3吨，目前四氯化硅国内主用于含硅防水涂料，氯相白炭黑，铸造粘结剂等。
2、从成熟、实用，仍以国内外普通使用的工业纯硅在氯化氢气流下流态氯化，再精溜提纯的工艺路线。 市场比较好的，就是投资比较大 三氯氢硅的投资应该讲投资是不大的，这也是近2年上的多得原因 目前加硅粉有几种方法，用气体送硅粉如N2或HCL还有机械进料方法，不知朋友想知道什么方法？ 硅粉加料前是一定要经过干燥的吧。我觉得还是用氮气吹进去比较好吧。楼上说的HCl也是工业上用的吗？另外往合成炉内加硅粉是连续的还是间歇的啊？这点我一直没搞清楚！ 我知道的大部分是间隙加料，不过我认为连续匀速加料会更好，反应温度波动不大，对控制粗品的浓度有好处，干燥是必须的。 7# yuanloveki
如果有CDI工序就不能用N2，因为CDI不能吸收N2 我们也是间歇式加料，用氮气吹的
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